정반 그루브의 형상치수가 사파이어 기판의 연마특성에 미치는 영향

이태경 ,  이상직 ,  정해도 외 1명

Tribology and Lubricants

2016 .08

래핑공정에서 그루브 밀도가 유막 두께에 미치는 영향

이태경 ,  김도연

한국트라이볼로지학회 학술대회

2019 .10

마찰력 모니터링을 통한 사파이어 기판 재료제거특성에 관한 연구

조원석 ,  이상직 ,  정해도 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

래핑 정반의 그루브 밀도에 따른 유막 두께 변화 연구

이태경 ,  이상직 ,  김도연 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .05

CMP 공정 조건에 따른 사파이어 웨이퍼 재료제거율에 관한 연구

박상현 ,  이종찬 ,  안범상

한국트라이볼로지학회 학술대회

2016 .04

래핑 정반의 기하학적 인자가 기판의 평탄도에 미치는 영향

이태경 ,  김도연

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .10

고정입자 정반을 이용한 사파이어 래핑에 관한 연구

이태경 ,  김형재 ,  이상직 외 2명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2016 .04

고정입자 마모에 따른 사파이어 기판 연마 특성

이태경 ,  이상직 ,  김도연

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2019 .10

고정 입자 정반을 이용한 사파이어 기판의 연마 특성 연구

이태경 ,  이상직 ,  조원석 외 2명

Tribology and Lubricants

2016 .04

Static seal의 그루브 형상에 따른 누설성능 규명

정진우 ,  황성호 ,  백두산 외 3명

한국유체기계학회 학술대회 논문집

2021 .07

단면 랩핑 공정에서 정반 표면특성이 재료제거에 미치는 영향

조원석 ,  이상직 ,  정해도 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .10

스펙트럼 분석을 이용한 사파이어 패턴 웨이퍼 불량 검출 시스템 설계

유성구 ,  설남오 ,  임근영

정보 및 제어 논문집

2017 .04

A study on influence of lapping on a low-strength surface of sapphire

L. Li ,  D. W. Lee ,  S. J. Lee 외 2명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2015 .04

사파이어 랩그라인딩 시 자유입자의 사용이 화학기계적 연마 결과에 미치는 영향

서준영 ,  김태경 ,  손준규 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .10

고정용 지그 소재가 사파이어 날 부 칩핑에 미치는 영향

신건휘 ,  곽태수 ,  이승준 외 1명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2015 .04

실리카 슬러리 희석비가 사파이어 기판의 랩그라인딩 결과에 미치는 영향

서준영 ,  김태경 ,  손준규 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .10

래핑 압력이 산화갈륨(201) 기판의 연마 특성에 미치는 영향

이태경 ,  김진성 ,  김형재

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2021 .12

사파이어 웨이퍼링 공정에서 랩그라인딩과 화학기계적 연마 연계 공정에 관한 연구

서준영 ,  김태경 ,  손준규 외 1명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2019 .10

사파이어 연마에서 결정방향이 재료제거 특성에 미치는 영향

이상진 ,  이상직

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05