A Study on Pressure Distribution for Uniform Polishing of Sapphire Substrate

Chul jin Pa ,  k ,  Haedo Jeong 외 3명

Tribology and Lubricants

2016 .04

패드의 통기도에 따른 사파이어 기판 연마율에 관한 연구

박철진 ,  김형재 ,  정해도 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .10

사파이어 연마에서 결정방향이 재료제거 특성에 미치는 영향

이상진 ,  이상직

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05

사파이어 화학기계적 연마에서 결정 방향이 재료제거 특성에 미치는 영향

이상진 ,  이상직 ,  김형재 외 2명

Tribology and Lubricants

2017 .06

탄화규소 및 사파이어 기판을 위한 화학기계적 연마(CMP)에 관한 문헌적 고찰

김다인 ,  김혜원 ,  이현섭

한국트라이볼로지학회 학술대회

2021 .10

마찰력 모니터링을 통한 사파이어 기판 재료제거특성에 관한 연구

조원석 ,  이상직 ,  정해도 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

사파이어 웨이퍼링 공정에서 랩그라인딩과 화학기계적 연마 연계 공정에 관한 연구

서준영 ,  김태경 ,  손준규 외 1명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2019 .10

래핑정반 그루브가 사파이어 기판의 재료제거율에 미치는 영향

이태경 ,  김형재 ,  조한철 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .10

롤투롤 가압 공정에서 롤러의 변형에 의한 불균일 압력 분포 분석

강유성 ,  정창호 ,  이문구 외 1명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2020 .06

스펙트럼 분석을 이용한 사파이어 패턴 웨이퍼 불량 검출 시스템 설계

유성구 ,  설남오 ,  임근영

정보 및 제어 논문집

2017 .04

압력 변화가 사파이어 기판의 랩그라인딩 결과에 미치는 영향

서준영 ,  김태경 ,  손준규 외 1명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2018 .10

실리카졸의 이온전도도 변화에 따른 사파이어 웨이퍼의 연마 특성

나호성 ,  조경숙 ,  이동현 외 3명

한국재료학회지

2015 .01

외부 전기장이 사파이어 기판의 CMP 연마 특성에 미치는 영향

박철진 ,  김형재

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .12

웨이퍼 에지의 압력 모니터링을 이용한 재료 제거 프로파일의 예측

박은정 ,  정해도 ,  이창석 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

고정입자 마모에 따른 사파이어 기판 연마 특성

이태경 ,  이상직 ,  김도연

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2019 .10

사파이어 CMP에서의 연마모델에 관한 연구

이현섭 ,  이다솔

대한기계학회 춘추학술대회

2017 .11

사파이어 랩그라인딩 시 자유입자의 사용이 화학기계적 연마 결과에 미치는 영향

서준영 ,  김태경 ,  손준규 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .10

CMP 공정 조건에 따른 사파이어 웨이퍼 재료제거율에 관한 연구

박상현 ,  이종찬 ,  안범상

한국트라이볼로지학회 학술대회

2016 .04

날개 후연 두께에 따른 축류홴의 성능 및 불균일 압력 분포에 관한 수치적 연구

김용인 ,  이찬 ,  최영석

한국유체기계학회 학술대회 논문집

2020 .11