패드의 통기도에 따른 사파이어 기판 연마율에 관한 연구

박철진; 김형재; 정해도; 김도연

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저자정보: 박철진 (한국생산기술연구원) 김형재 (한국생산기술연구원) 정해도 (부산대학교) 김도연 (한국생산기술연구원)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2016년도 추계학술대회 논문집

발행연도: 2016.10

수록면: 94 - 95 (2page)

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#Removal Rate #Chemical Mechanical Polishing #Permeability #Sapphire Substrate #Pad

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박철진

소속기관 한국생산기술연구원

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 13 이용수 730

김형재

소속기관 한국생산기술연구원

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 5% 공학 > 기계공학 > 자동차공학

논문수 129 이용수 11,487

정해도

소속기관 부산대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 0.5% 공학 > 화학공학 > 고분자공학

논문수 329 이용수 23,080

김도연

소속기관 부산대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 10% 자연과학 > 물리학

논문수 74 이용수 4,136

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