냉각수 유량에 따른 양면 랩그라인딩 정반의 전열특성

김동균 ,  김종윤 ,  이현섭

Tribology and Lubricants

2016 .04

사파이어 기판의 랩 그라인딩 공정에서 실리카 입자크기에 따른 표면거칠기 안정화에 관한 연구

서준영 ,  김태경 ,  이현섭

대한기계학회 춘추학술대회

2018 .05

사파이어 웨이퍼의 양면랩그라인딩 공정에서 실리카 입자의 영향에 관한 연구

서준영 ,  김태경 ,  이현섭

한국트라이볼로지학회 학술대회

2018 .04

실리카 슬러리 희석비가 사파이어 기판의 랩그라인딩 결과에 미치는 영향

서준영 ,  김태경 ,  손준규 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .10

사파이어 웨이퍼링 공정에서 랩그라인딩과 화학기계적 연마 연계 공정에 관한 연구

서준영 ,  김태경 ,  손준규 외 1명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2019 .10

냉각수 유량에 따른 양면 랩그라인딩 공정의 정반 온도 분포

이현섭 ,  김동균 ,  김종윤

한국트라이볼로지학회 학술대회

2016 .04

사파이어 랩그라인딩 후 CMP공정에 관한 연구 : 랩그라인딩 연마액 희석비의 영향

서준영 ,  김태경 ,  손준규 외 1명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2019 .04

압력 변화가 사파이어 기판의 랩그라인딩 결과에 미치는 영향

서준영 ,  김태경 ,  손준규 외 1명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2018 .10

사파이어 랩그라인딩 시 자유입자의 사용이 화학기계적 연마 결과에 미치는 영향

서준영 ,  김태경 ,  손준규 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .10

고정용 지그 소재가 사파이어 날 부 칩핑에 미치는 영향

신건휘 ,  곽태수 ,  이승준 외 1명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2015 .04

사파이어 연마에서 결정방향이 재료제거 특성에 미치는 영향

이상진 ,  이상직

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05

A study on influence of lapping on a low-strength surface of sapphire

L. Li ,  D. W. Lee ,  S. J. Lee 외 2명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2015 .04

양면 랩그라인딩 장치에서 냉각유로에 따른 열전달 특성에 관한 연구

김동균 ,  김종윤 ,  이현섭 외 1명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2015 .10

패드의 통기도에 따른 사파이어 기판 연마율에 관한 연구

박철진 ,  김형재 ,  정해도 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .10

Study on Grinding Characteristics of Different Crystal Surfaces of Sapphire

Yi-Qing Yu ,  Ming-Jian Shao ,  Chang-Cai Cui 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2016 .10

고정입자 마모에 따른 사파이어 기판 연마 특성

이태경 ,  이상직 ,  김도연

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2019 .10

외부 전기장이 사파이어 기판의 CMP 연마 특성에 미치는 영향

박철진 ,  김형재

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .12

래핑정반 그루브가 사파이어 기판의 재료제거율에 미치는 영향

이태경 ,  김형재 ,  조한철 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .10

마찰력 모니터링을 통한 사파이어 기판 재료제거특성에 관한 연구

조원석 ,  이상직 ,  정해도 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05