레이저 직접묘화법을 이용한 미세패턴 전도성 향상에 관한 연구

이봉구

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자료유형: 학술저널

저자정보: 이봉구 (영남이공대학교)

저널정보: 한국산학기술학회 한국산학기술학회 논문지 한국산학기술학회논문지 제18권 제5호

발행연도: 2017.5

수록면: 475 - 480 (6page)

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본 논문에서는 레이저 유도증착 공정을 사용하여 절연기판위에 미세패턴의 전도성 향상시켰다. 기존의 레이저 유도증착의 공정에서 발생하는 높은 레이저빔 에너지로 인하여, 미세패턴의 낮은 증착밀도, 산화와 같은 문제점이 있다. 이러한 문제점을 폴리머 코팅층을 사용하여 증착정밀도와 전도성 향상하였다. 실리콘 웨이퍼 위에 미세패턴 증착을 위해서 크롬, 구리를 사용하였다. 본 연구에서는 다중펄스 방식의 레이저 빔을 금속박막에 조사하여 절연기판(insulating substrate: SiO₂) 위에 시드 층을 형성하고, 형성된 시드 층위에 무전해 도금을 적용하여 미세패턴 및 구조물을 제작하는 복합공정기술을 개발하였다. 레이저빔의 다중 스캔방식으로 조사함으로서 레이저빔의 에너지가 증착 층의 증착밀도와 표면품위를 향상시키고, 미세전극 패턴으로 사용가능한 전기 전도성을 갖게 되었음 알 수 있었다. 레이저 직접묘화법과 무전해 도금을 적용한 복합공정을 이용하여 미세전극을 증착 한 후 비저항을 측정한 결과 도금 전 저항이 6.4Ω, 도금 후의 저항이 2.6Ω으로 미세전극패턴의 표면조직이 균일하고 증착되었다. 표면조직이 균일하고 치밀하게 증착되었기 때문에 전기 전도도가 약 3배정도 향상되었다.

#Additive process #electrical conductivity #Laser Induced Forward Transfer #Laser Direct Writing #Microdeposition #Micro-pattern

참고문헌 (9)

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[학술지(정기간행물)] - Hirofumi Hidai / 2001 / Direct laser writing of aluminum and copper on glass surfaces from metal powder / Applied Surface Science 174 (2) : 118 ~ 124

[단행본] - D. J. Ehrlich / 1989 / Laser Microfabrication : Thin Film Process and Lithography / Academic press : 207 ~ 208

[학술지(정기간행물)] - J. Bohandy / 1986 / Metal deposition from a supported metal film using an excimer laser / Journal of Applied Physics 60 (4) : 1538 ~ 1539

[학술지(정기간행물)] - H Yamada / 2002 / Optimization of laser-induced forward transfer process of metal thin films / Applied Surface Science 197-198 : 411 ~ 415

[학술지(정기간행물)] - E.J. Lafferty / 1998 / Photo-assisted metallisation: line resolution studies / Surface and Coatings Technology 100-101 : 80 ~ 84

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