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The Properties of ZrO2 Film Deposition by ALD at Low Temperature
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2017 .10
R&D용 소형 원자층 증착 시스템 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .12
Surface Chemistry Modification for Developing Atomic Layer Deposition Process for the 2D Material and Thin Film Deposition on 2D Materials
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .11
원자층 증착법을 이용한 전자섬유 응용
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2017 .11
Multi-functional layer coating on nanoparticles via atomic-layer-deposition
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .11
선택적 영역 원자층 증착법을 위한 표면 반응 메커니즘: Al₂O₃ case 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2021 .06
기판 고유의 선택비를 활용한 SiO₂ 박막의 영역 선택적 증착법
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2021 .06
ALD로 저온에서 증착된 TiO2 박막의 막질에 대한 연구
마이크로전자 및 패키징학회지
2016 .01
분말 입자 코팅을 위한 초음파 원자층 증착
한국자동차공학회 추계학술대회 및 전시회
2022 .11
고효율 TOPCon 태양전지의 SiOX/poly-Si박막 형성 기법과 passivating contact 특성
신·재생에너지
2022 .03
유량 변화에 따른 원자층 증착 장비 내부 유동특성 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2019 .11
저온 Atomic Layer Deposition을 이용한 SiO₂ 박막의 Perovskite solar cells 적용
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2023 .11
Formation of Anti-reflection structure grown by atomic layer deposition
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2017 .05
전처리 조건에 따른 화학 기상 증착법에 의한 다이아몬드 필름 증착 거동
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2020 .12
Atomic Layer Deposition for Electrochemical Applications
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2020 .12
Investigation of Influence of Deposition Strategies on Thermo-Mechanical Characteristics of Planar Deposition Using a Directed Energy Deposition Process
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2019 .10
Graphene Oxide 막의 염 제거율 및 안정성 증대를 위한 원자층증착법(Atomic Layer Deposition) 적용 및 평가
대한환경공학회 학술발표논문집
2018 .11
사물인터넷을 이용한 증착 공정 설계와 해석
한국통신학회 학술대회논문집
2019 .11
원자층 증착법으로 증착한 HfAlO 박막의 패시베이션 특성 연구
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2022 .04
Effect of Deposition Temperature on Mechanical Properties of Freestanding ALD Al₂O₃ Thin Films
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
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