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이용수
1. 서론
2. 유체구조 연성 이론
3. 유한요소 접수진동 해석
4. 공진 회피 설계 안
5. 결론
References
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기구부 공진을 억제하기 위한 초정밀 자기부상 이송시스템의 Anti-resonance filter 설계
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