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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
조윤상 (고려대학교) 이상민 (고려대학교) 김해중 (삼성전자) 김성범 (고려대학교)
저널정보
대한산업공학회 대한산업공학회지 대한산업공학회지 제44권 제5호
발행연도
2018.10
수록면
325 - 333 (9page)
DOI
10.7232/JKIIE.2018.44.5.325

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2018

반도체 제조공정 내 불량설비 시퀀스 탐지
조윤상 ,  이상민 ,  김해중 외 1명 대한산업공학회지 2018.10 학술저널

2017

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조윤상 ,  김성범 대한산업공학회 추계학술대회 논문집 2017.11 학술대회자료

초록· 키워드

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Maintenance of quality level is essential in semiconductor manufacturing that contains a series of complicated processes and equipment. Recently, the problem of abnormal quality caused by the inadequate process sequence has become an important quality management issue. Furthermore, characterization of the sequential combination of the process and equipment that cause the abnormal quality is a crucial task in manufacturing systems. In this study, we propose the methodology that detects the sequence of faulty equipment based on hidden Markov models. The effectiveness and applicability of the proposed approach were demonstrated through the experiments using a simulator that reflects the actual manufacturing conditions.
#Semiconductor Manufacturing Process #Faulty Equipment Sequence #Hidden Markov Model

목차

1. 서론
2. 제안 방법론
3. 실험
4. 결론
참고문헌

참고문헌 (34)

참고문헌 신청
Annachhatre, C., Austin, T. H., and Stamp, M. (2015), Hidden Markov models for malware classification, Journal of Computer Virology and Hacking Techniques, 11(2), 59-73. Champion, C. and Houghton, S. M. (2016), Application of Continuous State Hidden Markov Models to a classical problem in speech recognition, Computer Speech & Language, 36, 347-364. Choung, Y. J., Kang, J., and Kim, S. B. (2017), Process control of time-varying systems using parameter-less self-organizing maps, Journal of Process Control, 52, 45-56. Chien, C. F., Hsu, C. Y., and Chen, P. N. (2013), Semiconductor fault detection and classification for yield enhancement and manufacturing intelligence, Flexible Services and Manufacturing Journal, 25(3), 367-388. Findley, D. F. (1991), Counterexamples to parsimony and BIC, Annals of the Institute of Statistical Mathematics, 43(3), 505-514.

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