Improved Electrical and Optical Characteristics of Sol-Gel Processed ITO Thin Films Using Low Thermal Budget Microwave Annealing

Seong-Geun Cho; Won-Ju Cho

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: Seong-Geun Cho (Kwangwoon University) Won-Ju Cho (Kwangwoon University)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2018년 한국진공학회 (제55회 하계정기학술대회 초록집)

발행연도: 2018.8

수록면: 153 - 153 (1page)

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