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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
정학기 (Kunsan National University)
저널정보
한국전기전자학회 전기전자학회논문지 전기전자학회논문지 제23권 제1호
발행연도
2019.3
수록면
29 - 34 (6page)

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본 논문에서는 10 nm 이하 무접합 원통형 MOSFET의 온-오프 전압 ΔV<SUB>on-off</SUB>에 대하여 고찰하였다. 문턱전압이하 전류가 10<SUP>-7</SUP> A일 때 게이트 전압을 온 전압, 10<SUP>-12</SUP> A일 때 게이트 전압을 오프 전압으로 정의하고 그 차를 구하였다. 10 nm 이하에서는 터널링 전류를 무시할 수 없기 때문에 터널링 전류의 유무에 따라 ΔV<SUB>on-off</SUB>의 변화를 관찰하였다. 이를 위하여 포아송방정식을 이용하여 채널 내 전위분포를 구하였으며 WKB 근사를 이용하여 터널링 전류를 구하였다. 결과적으로 10 nm 이하 JLCSG MOSFET에서 터널링 전류에 기인하여 ΔV<SUB>on-off</SUB>가 증가하는 것을 알 수 있었다. 특히 8 nm 이하의 채널길이에서 급격히 증가하였으며 채널 반지름과 산화막 두께가 증가할수록 ΔV<SUB>on-off</SUB>는 증가하는 것을 알 수 있었다.

목차

Abstract
요약
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 본론
Ⅲ. 결론
References

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