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김무중 (한국에너지기술연구원) 민관홍 (한국에너지기술연구원) 박성은 (한국에너지기술연구원) 송희은 (한국에너지기술연구원) 이정인 (한국에너지기술연구원) 정경택 (한국에너지기술연구원) 박진성 (한양대학교) 강민구 (한국에너지기술연구원)
저널정보
한국신재생에너지학회 한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집 한국신재생에너지학회 2019년도 춘계학술대회 [초록집]
발행연도
2019.5
수록면
330 - 330 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2019

Diamond Wire Sawn (DWS) 다결정 실리콘 웨이퍼의 Reactive Ion Etching(RIE) 처리에 따른 패시베이션 특성 분석
김무중 ,  민관홍 ,  박성은 외 5명 한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집 2019.05 학술대회자료
RIE(Reactive Ion Etching) 처리된 다결정 웨이퍼의 DRE(Damage Removal Etching) 처리에 따른 패시베이션 특성 분석
김무중 ,  박성은 ,  강민구 외 3명 한국태양에너지학회 학술대회논문집 2019.04 학술대회자료

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#Diamond wire sawn(다이아몬드 와이어 절단) #Reactive ion etching(반응성 이온 식각) #Adsorbates(흡착물질) #Damage removal etching(결함 제거 식각)

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