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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2015.1
- 수록면
- 83 - 89 (7page)
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본 논문에서는 졸-침투와 직접-패턴 공정을 이용하여 향상된 압전 후막의 전기적 특성과 우수한 패터닝 특성을 동시에 만족할 수 있는 제작 방법을 제시한다. 저온(< 850 °C) 공정 후 후막의 고밀도 및 직접-패턴의 목적을 달성하기 위해서, 감광성 티탄산 지르콘산 연 (Pb(Zr,Ti)O3, PZT) 졸을 스크린인쇄된 PZT 후막 내부로 침투시켰다. 직접-패턴된 PZT막은 포토크롬마스크와 UV 조사에 의해서 일정한 간격으로 인쇄된 후막 위에 성공적으로 형성되었다. 스크린인쇄된 후막은 분말형태의 기공성 구조를 갖고 있어 조사된 UV빛이 산란되기 때문에, 감광성 졸-침투 공정을 할 때 PZT 후막의 특성을 증가시키기 위한 공정의 최적화가 필요하다. 침투된 감광성 PZT 졸의 농도, 조사된 UV 시간 및 용매 현상 시간을 최적화한 결과, 0.35 M의 PZT 농도, 4 분의 UV 조사시간과 15 초의 용매 현상시간으로 졸-침투된 PZT 후막은 800 °C 소결 온도에서 입자들의 성장에 의해 치밀화 정도가 증가되었다. 또한 PZT후막의 강유전 특성(잔류분극 및 항복 전압)도 향상되었다. 특히 잔류분극값은 스크린인쇄된 후막보다 약 4배정도 증가되었다. 이렇게 제작된 후막은 어레이타입의 압전형 마이크로미터크기의 센서 및 액츄에이터 등에 응용 가능성을 제시할 수 있었다.
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A. Sachdeva / 2012 / Effect of sol composition on dielectric and ferroelectric properties of PZT composite films / Ceram. Interna 38 (2) : 1331 ~
C. Lucaty / 1997 / Thick-film densification for pyroelectric sensors / Meas. Sci. Technol 8 : 38 ~
E. E. Aktakka / 2014 / High Stroke and High Deflection Bulk-PZT Diaphragm and Cantilever Micro Actuators and Effect of Pre-Stress on Device Performance / J. Microelectromech.
J. H. Park / 2005 / Fabrication of microcantilever sensors actuated by piezoelectric Pb(Zr0.52Ti0.48)O3 Thick films and determination of their electromechanical characteristi
J. H. Park / 2009 / Effects of the material properties on piezoelectric PZT thick film micro cantilevers as sensors and self actuators / J. Electroceram 25 : 1 ~
C. Lucaty / 1997 / Thick-film densification for pyroelectric sensors / Meas. Sci. Technol 8 : 38 ~
E. E. Aktakka / 2014 / High Stroke and High Deflection Bulk-PZT Diaphragm and Cantilever Micro Actuators and Effect of Pre-Stress on Device Performance / J. Microelectromech.
J. H. Park / 2005 / Fabrication of microcantilever sensors actuated by piezoelectric Pb(Zr0.52Ti0.48)O3 Thick films and determination of their electromechanical characteristi
J. H. Park / 2009 / Effects of the material properties on piezoelectric PZT thick film micro cantilevers as sensors and self actuators / J. Electroceram 25 : 1 ~
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