지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
초록· 키워드
오류제보하기
In this paper, modeling of the non-ideal frequency response, especially “notch-and-spike” magnitude phenomenon and phase lag distortion, are discussed. To characterize the non-ideal frequency response, a new electro-mechanical simulation model based on SPICE is proposed using the driving loop of the capacitive vibratory gyroscope. The parasitic components of the driving loop are found to be the major factors of non-ideal frequency response, and it is verified with the measurement results.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (8)
참고문헌 신청
/ 1998 / Star-Hspice Manual / Avant! Corporation
A. Burstein / 1995 / The microelectromechanicad gyroscope-analysis and simulation using SPICE electronic simulator / Proc. SPIE : 225 ~ 232
A. Lee / 2005 / Micro-gyroscope of a high-performance,high-yield at the vacuum state of wafer level / Proc.13th Conf. Guided Munition : 376 ~ 379
J. Kim / 2004 / Robust SOI process without footing and its application to ultra high-performance microgyroscopes / Sensors and actuator A 114 : 236 ~ 243
N. Yazdi / 1998 / Micromachined inertial sensors / Proc. IEEE 86 : 1640 ~ 1659
A. Burstein / 1995 / The microelectromechanicad gyroscope-analysis and simulation using SPICE electronic simulator / Proc. SPIE : 225 ~ 232
A. Lee / 2005 / Micro-gyroscope of a high-performance,high-yield at the vacuum state of wafer level / Proc.13th Conf. Guided Munition : 376 ~ 379
J. Kim / 2004 / Robust SOI process without footing and its application to ultra high-performance microgyroscopes / Sensors and actuator A 114 : 236 ~ 243
N. Yazdi / 1998 / Micromachined inertial sensors / Proc. IEEE 86 : 1640 ~ 1659
함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
용량형 마이크로 공진기의 주파수 응답 보상 기법
센서학회지
2012 .01
-
MEMS 공진기의 고주파 응답해석을 위한 고효율 해석기
대한기계학회 춘추학술대회
2007 .05
-
정전 용량 방식의 MEMS 마이크로폰 제작
대한전기학회 학술대회 논문집
2010 .07
-
MEMS vibratory gyroscope with highly programmable capacitive interface circuit
제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집
2012 .10
-
Multi-Channel Capacitive Readout IC for MEMS Inertial Sensors
대한전자공학회 ISOCC
2008 .11
-
축소모델을 이용한 주파수응답의 민감도해석
대한기계학회 춘추학술대회
2009 .05
-
초소형 MEMS 마이크로폰의 제작공정 및 기전특성 측정 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2011 .06
-
New Offset-compensation Technique for Capacitive MEMS-Sensor
대한전기학회 학술대회 논문집
2001 .07
-
크리로프 부공간법에 근거한 모델차수축소기법을 통한 배열형 MEMS 공진기의 주파수응답해석
대한기계학회 논문집 A권
2009 .09
-
[특집 ： MEMS 기술] MEMS 기술의 개요
Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)
2005 .07
-
A Study on Modeling and Simulation of Electro-statically Driven Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS)
대한기계학회 기타 간행물
2002 .11
-
3D Finite element analysis of capacitance feed-through for MEMS resonator
대한전기학회 학술대회 논문집
2010 .07
-
MEMS Gyroscope
한국소음진동공학회 세미나자료집
2005 .04
-
미세 유체 채널을 이용한 MEMS 기반 정전용량식 마모 입자 측정 시스템 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
-
표면 MEMS 기술을 이용한 고온 용량형 압력센서의 특성
전기전자재료학회논문지
2010 .01
-
Effect of Parasitic Capacitance on RF MEMS Switch OFF/ON Ratio
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2019 .01
-
집중 소자를 이용한 표면 탄성파 장치 기반의 용량 성 센서 보정 및 이를 이용한 초정밀 간극 측정
정보저장시스템학회논문집
2012 .01
-
A High Resolution and Long Range MEMS Capacitive Displacement Sensor for Precision Scanning Stage
ITC-CSCC :International Technical Conference on Circuits Systems, Computers and Communications
2005 .07
-
MEMS 기술
기계저널
2007 .05
-
Piezoelectric MEMS Resonator Array for Low-Power Multi-Axis Magnetic Field Detection
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .05
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0