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논문 기본 정보

자료유형
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저자정보
저널정보
한국센서학회 센서학회지 센서학회지 제15권 제1호
발행연도
2006.1
수록면
7 - 12 (6page)

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The multi-functional one-chip sensor has been fabricated to reduce output variation under various water environment. There were a temperature sensor, a piezoresistive type pressure sensor, and a electrode type conductivity sensor in the fabricated one-chip sensor. This sensor was measured water depth in the range of 0~180cm, temperature in the range of 0~50oC, and salinity in the range of 0wt%~5wt%, respectively. Since the change of water depth in solution environment depends on various factors such as salinity, latitude, temperature, and atmospheric pressure, the water depth sensor is needed to be compensated. We tried to compensate the salinity and temperature dependence for the pressure in water by using lookup-table method.
#water depth sensor #temperature sensor #conductivity #MEMS #pressure sensor

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참고문헌 (15)

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A. Poisson / / Conductivit/salinity/temperature relationship of diluted and concentrated standard seawater 5 (1) : 41 1980 ~ 49 google schola C. Herring / 1955. / Transport properties of a many-valley semiconductor 34 : 237 ~ 296 google schola D. R. Topham / 1998 / CTD sensor characteristics and their matching for salinity calculations 13 (3) : 107 ~ 117 google schola Jacob fraden / 1996. / Handbook of modern sensors : 483 ~ 464 google schola K. E. Peterson / 1982 / Silicon as a mechanical material 70 (5) : 420 1982 ~ 456 google schola

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