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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- 대한기계학회 Journal of Mechanical Science and Technology Journal of Mechanical Science and Technology Vol.20 No.4
- 발행연도
- 2006.4
- 수록면
- 505 - 512 (8page)
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This paper presents an integrated multifunctional sensor based on MEMS technology, which can be used or embedded in mobile devices for environmental monitoring. An absolute pressure sensor, a temperature sensor and a humidity sensor are integrated in one silicon chip of which the size is 5㎜×5㎜. The pressure sensor uses a bulk-micromachined diaphragm structure with the piezoresistors. For temperature sensing, a silicon temperature sensor based on the spreading-resistance principle is designed and fabricated. The humidity sensor is a capacitive humidity sensor which has the polyimide film and interdigitated capacitance electrodes. The different piezoresistive orientation is used for the pressure and temperature sensor to avoid the interference between sensors. Each sensor shows good sensor characteristics except for the humidity sensor. However, the linearity and hysteresis of the humidity sensor can be improved by selecting the proper polymer materials and structures.
목차
Abstract
1. Introduction
2. Sensor Design and Theory of Operation
3. Device Design and Fabrication
4. Experimental Results
5. Conclusions
References
참고문헌 (14)
참고문헌 신청
Center for Microcomputer Applications, Universiteit van Amsterdam, 2003, "Relative Humidity Sensor," (http://www.cma.science.uva.nl/english/download/pdf/manuals/d025i.pdf).
DeHennis, A. D. and Wise, K. D., 2005, "A Wireless Microsystem for the Remoting Sensing of Pressure, Temperature, and Relative Humidity," Journal of Microelectromechanical Systems, Vol.14, No.1, pp.12~22.
Dokmeci, M. and Najafi, K., 2001, "A High Sensitivity Polyimide Capacitive Relative Humidity Sensor for Monitoring Anodically Bonded Hermetic Micropackages," Journal of Microelectromechanical Systems, Vol.10, No.2, pp.197~204.
Fang, Z., Zhao, Z., Wu, Y., Zhang, B. and Wang, Y., 2004, "Integrated Temperature and Humidity Sensor Based on MEMS," Proc. of International Conference on Information Acquisition, pp.84~87.
Fujita, T. and Maenaka, K., 2002, "Integrated Multi-Environmental Sensing-System for the Intelligent Data Carrier," Sensors and Actuators A, Vol.97~98, pp.527~534.
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