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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제22권 제10호
발행연도
2009.1
수록면
814 - 820 (7page)

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Antimony (Sb) doped ZnO thin films (0.1 at.%) were deposited on sapphire (0001) substrates at various temperatures (200 - 600℃) by using pulsed laser deposition technique. All the thin films have been characterized by X-ray diffractometer, atomic force microscopy and spectrophotometer to investigate their structural, morphological and optical properties, respectively. Hall measurements were also carried out to identify the electrical properties of the thin films. These thin films were constituted in wurtzite structure with the preferential orientation of (002) diffraction plane and had as high as 80% optical transmission in the visible range. The bandgap energy also was determined by spectrophotometer which was around 3.28 eV. Hall measurements results revealed that the Sb dope ZnO thin film (0.1 at.%) grown at 500℃ exhibited p-type conduction with a carrier concentration of 8.633 × 1016 ㎝-3, a mobility of 1.41 ㎠/V․s and a resistivity of 51.8 Ω·㎝. We have successfully achieved p-type conduction in antimony doped ZnO thin films with low doping level even though the electrical properties are not favorable. This paper suggests the feasibility of p-type doping with large-size-mismatched dopant by using pulsed laser deposition.
#PLD #ZnO thin films #Sb doped #Hall effects

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C. G. Van de Walle / 2000 / Hydrogen as a cause of doping in zinc oxide / Phy. Rev. Lett. 85 : 1012 ~ google schola D. C. Look / 2004 / As-doped p-type ZnO produced by an evaporation/sputtering process / Appl. Phys. Lett. 85 : 5269 ~ google schola F. K. Shan / 2008 / Structural,electrical,and optical properties of Na-doped ZnO thin films deposited by pulsed laser deposition / J. Nanosci. Nanotechnol. 8 : 5203 ~ google schola F. X. Xiu / 2005 / High-mobility Sb-doped p-type ZnO by molecular-beam epitaxy / Appl. Phys. Lett. 87 : 152101 ~ google schola F. X. Xiu / 2005 / Photoluminescence study of Sb-doped p-type ZnO films by molecular-beam epitaxy / Appl. Phys. Lett. 87 : 252102 ~ google schola

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