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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2007.1
- 수록면
- 481 - 486 (6page)
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In large area scanning with a micro-electron-column, the operating condition for the best resolution was investigated in factors of working distance and field of view. The resolution of a test sample was dependent on electron beam energy and scanning field size. The best resolution with single deflector was obtained at 300 V and 30 ㎜ in the electron emitting tip voltage and a working distance, respectively. The scanning area at that condition was 13.9×13.9 ㎜2, linearly increased with the working distance. Double deflector was employed for larger scanning size without increasing working distance, but showed only 1.7 times larger than that of single deflector, and the resolution was inverse proportional to the scanning size.
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C. Stebler / 1999 / Microfabricated double layer octupoles for microcolumn applications / Microelectronic Eng. 46 : 401 ~
E. Kratschmer / 1994 / Sub-40 nm resolution 1 keV scanning tunneling microscope filed-emission microcolumn / J. Vac. Sci. & Technol. B12 : 3503 ~
E. Kratschmer / 1995 / An electron-beam microcolumn with improved resolution, beam current, and stability / J. Vac. Sci. & Technol. B13 : 2498 ~
E. Kratschmer / 1996 / Experimental evaluation of a 20×20 ㎜ footprint microcolumn / J. Vac. Sci. & Technol. B14 (6) : 3792 ~
M. G. R. Thomson / 1995 / Compression of field-emission angular distribution using a cathode shield / J. Vac. Sci. & Technol. B13 : 2445 ~
E. Kratschmer / 1994 / Sub-40 nm resolution 1 keV scanning tunneling microscope filed-emission microcolumn / J. Vac. Sci. & Technol. B12 : 3503 ~
E. Kratschmer / 1995 / An electron-beam microcolumn with improved resolution, beam current, and stability / J. Vac. Sci. & Technol. B13 : 2498 ~
E. Kratschmer / 1996 / Experimental evaluation of a 20×20 ㎜ footprint microcolumn / J. Vac. Sci. & Technol. B14 (6) : 3792 ~
M. G. R. Thomson / 1995 / Compression of field-emission angular distribution using a cathode shield / J. Vac. Sci. & Technol. B13 : 2445 ~
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