펄스 레이저 증착법으로 제작된 Bi2O3-MgO-ZnO-Nb2O5 박막의   제작 및 특성 분석

배기열; 이동욱; J. Elanchezhiyan; 이원재; 배윤미; 신병철; 윤순길

추천

검색

자료유형: 학술저널

저자정보: 배기열 이동욱 J. Elanchezhiyan 이원재 배윤미 신병철 윤순길

저널정보: 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제23권 제3호

발행연도: 2010.1

수록면: 211 - 215 (5page)

이용수

📌

연구주제

📖

연구배경

🔬

연구방법

🏆

연구결과

초록· 키워드

오류제보하기

Pulsed laser deposition　is a very efficient technique for fabricating thin films of complex compounds. In the present work, Bi2O3-MgO-ZnO-Nb2O5 (BMZN) pyrochlore thin films were deposited on platinized Si substrates at various temperatures by using pulsed laser deposition technique. These films have been characterized by X-ray diffractometer (XRD), atomic force microscopy (AFM) to investigate their structural, morphological properties. MIM structure was manufactured to analyze di-electrical properties of BMZN thin films. XRD results reveal the thin films deposited at less than 400℃ show only amorphous phase, the crystallized thin films was observed when the thin films were prepared temperature at above 500℃. From AFM, it was known that the thin film grown at 400℃ is the densest. Dielectric constant increased with increasing temperature up to 400℃ at 100 ㎑ and dramatically decreased at the higher temperature. A aspect of dissipation factor was the exact opposite of dielectric constant. BMZN thin films grown at 400℃ exhibited a high dielectric constant of 60.9, a low dissipation factor of 0.007 at 100 ㎑.

#PLD #BMZN thin films #Dielectric properties #Pyrochlore

참고문헌 (14)

참고문헌 신청

C. C. Wu / 2009 / The chemical and dielectric properties of epoxy/(Ba0.8Sr0.2)(Ti0.9Zr0.1)O3 composites for embedded capacitor application / European Polymer Journal 45 (5) :

I. D. Kim / 2005 / Low-voltage ZnO thin-film transistors with high-K Bi1.5Zn1.0Nb1.5O7 gate insulator for transparent and flexible electronics / Appl. Phys. Lett. 87 : 043509

I. Levin / 2002 / Crystal structure of the compound Bi2Zn2/3Nb4/3O7 / J. Mater. Res. 17 (6) : 1406 ~

J. C. Nino / 2002 / Bi2O3 solubility of Bi-based pyrochlores and related phases / J. Mater. Res. 17 (5) : 1178 ~

J. Lu / 2007 / High dielectric constant polyaniline/ epoxy composites via in situ polymerization for embedded capacitor applications / Polymer 48 : 1510 ~

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

배기열

소속기관 한국전기전자재료학회

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 3 이용수 7

이동욱

소속기관 한국전기전자재료학회

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 4 이용수 4

J. Elanchezhiyan

소속기관 한국전기전자재료학회

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 1 이용수 0

이원재

소속기관 한국전기전자재료학회

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 1 이용수 0

배윤미

소속기관 한국전기전자재료학회

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 2 이용수 3

신병철

소속기관 한국전기전자재료학회

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 12 이용수 48

윤순길

소속기관 한국전기전자재료학회

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 1 이용수 0

최근 본 자료

전체보기

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	원문	원문 PDF 파일
AI 학습용 데이터	원문 + 메타 (기본/상세)	원문 PDF 파일 및 서지정보 CSV
대량 구매용 데이터	B2B 구독 방식	특정 자료 한정으로 원문 접근 권한 부여
대량 구매용 데이터	URL 전달 방식	바로 PDF 뷰어를 열람할 수 있는 URL 제공

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	기본 메타	발행기관명, 간행물명, 권호명, 권(vol), 호(issue), 통권, 발행연도, 발행월, 논문명, 저자명, 시작페이지, 종료페이지, 전체페이지, 상세페이지URL
상세 메타 데이터	발행기관 메타	발행기관 이명, 영문명, 창립연도, 홈페이지URL, 발행기관 소개
	간행물 메타	부제목, 간행물 유형, ISSN, ISBN, 최초발행연도, 폐간연도, 간행빈도, 발행주기, 등재사항, 이용수, 피인용수, 권호수, 논문수, 표지이미지
	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

구분	그룹	데이터 항목
※ 결합형/맞춤형 메타 데이터는 신청 내용에 따라 다양하게 제공 가능
이용순위 정보	주제분야별 많이 이용된 논문	“인문학”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	이용기관별 많이 이용된 논문	“중고등학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	세부기관별 많이 이용된 논문	“서울대학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	키워드별 많이 이용된 논문	“Chat GPT”에서 많이 이용된 논문 TOP100
키워드 정보	많이 이용된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 이용된 키워드
	많이 발행된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 발행된 키워드
	많이 검색된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 검색된 키워드
	연구 트렌드 키워드	특정 키워드 연관 연구동향 분석 데이터 키워드

논문 기본 정보

초록· 키워드

AI 요약

연구주제

연구배경

연구방법

연구결과

주요내용

목차

참고문헌 (14)

함께 읽어보면 좋을 논문

이 논문의 저자 정보

최근 본 자료

댓글(0)