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자료유형
학술저널
저자정보
Chiara Paolinia (Agilent Technologies Italia S.p.A.) Mauro Audia (Agilent Technologies Italia S.p.A.) Mark Denning (Agilent Technologies)
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology Applied Science and Convergence Technology Vol.25 No.6
발행연도
2016.11
수록면
108 - 115 (8page)

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Even if ion pumps are widely and mostly used in ultra-high vacuum (UHV) conditions, virtually every existing ion pump has its maximum pumping speed around 1E-6 mbar (1E-4 Pa). Discharge intensity in the ion pump Penning cell is defined as the current divided by pressure . (I/P)This quantity reflects the rate of cathode bombardment by ions, which underlies all of the various pumping mechanisms that occur in ion pumps (chemisorption on sputtered material, ion burial, etc.), and therefore is an indication of pumping speed. A study has been performed to evaluate the influence of magnetic fields and cell dimensions on the ion pump discharge intensity and consequently on the pumping speed at different pressures. As a result, a combination of parameters has been developed in order to design and build an ion pump with the pumping speed peak shifted towards lower pressures. Experimental results with several different test set-ups are presented and a prototype of a new 200 l/s ion pump with the maximum pumping speed in the 1E-8 mbar (1E-6 Pa) is described. A model of the system has also been developed to provide a framework for understanding the experimental observations.
#Ion pump #Penning cell #Ultra-high vacuum #Vacuum electronics #Magnetic field #Sputtering

목차

Abstract
I. Introduction
II. Materials and Methods
III. Results and Discussion
IV. Conclusions
References

참고문헌 (15)

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[학술지(정기간행물)] - J. C. Helmer / 1961 / / Proceedings of the IRE 49 (12) : 1920 ~ 1925 google schola [학술대회논문] - S. L. Rutherford / 1963 / / Proceedings of the 10th National AVS Symposium : 185 ~ google schola [학술지(정기간행물)] - W. Schuurman / 1967 / / Physica 36 (1) : 136 ~ 160 google schola [학술지(정기간행물)] - R. L. Jepsen / 1968 / / Vacuum 18 (3) : 137 ~ google schola [학술지(정기간행물)] - E. G. Hooper / 1969 / / Advances in Electronics and Electron Physics 27 : 295 ~ google schola

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