단일 선구 물질을 이용한 탄화규소 막의 적층 성장

유규상 ,  이경원 ,  김윤수

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

Single source CVD of epitaxial 3C - SiC on Si(111) without carbonization

Kyung-Won Lee ,  Kyu-Sang Yu ,  Jung-Wook Bae 외 1명

Journal of Korean Vacuum Science & Technology

1997 .06

탄화규소 나노와이어(SiC nanowire)의 성장 및 구조분석

정민욱 ,  김민국 ,  송우석 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

화학기상증착조건이 SiC 박막의 성장에 미치는 영향

방욱 ,  김헝준

한국결정학회지

1992 .01

Heteroepitaxial Growth of Silicon Carbide Thin Films by High Vacuum Chemical Vapor Deposition Using the Single Precursor 1,3 - Disilabutane

Yunsoo Kim

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .06

Si(001)2×1 표면에 성장된 극초박막에 관한 연구

Hyun-Jeong Kim ,  Robe ,  t L. Johnson

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

The Growth of Cubic SiC Films by OMCVD Using Single Molecular Precursors

Jin-Hyo Boo ,  Kyu-Sang Yu ,  Moonhee Lee 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1994 .02

Si - O - C - H 저유전율 박막의 특성 연구 Study of Low - k Si - O - C - H Thin Films

김윤해 ,  이석규 ,  김형준

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

The Intermediates of Thermal Decomposition of 1,3-Disilabutane to Silicon Carbide on Si(100) Surface

Hae-geun Jee ,  Seong Hun Jeong ,  Sung Kyu Kim 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .02

The intermediates of Thermal Decomposition of 1,3-Disilabutane to Silicon Carbide on Si(100) Surface

Hae-geun Jee ,  Jaehoon Jung ,  Young-Kyu Han 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08

PAMBE를 사용하여 Si 기판 위에 성장된 AIN 박막의 결정성 분석

홍성의 ,  한기평 ,  백문철 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

2001 .04

절연체(CeO₂ / Si)위에 성장된 실리콘 박막의 특성 연구

양지훈 ,  문병식 ,  김관표 외 4명

Applied Science and Convergence Technology

1999 .08

Electronic properties of few-layer graphene on cubic-SiC

Victo ,  ARISTOV ,  Han-Chun WU 외 36명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Low temperature epitaxial growth of 4H-SiC thin films by chemical vapor deposition using bis-trimethylsilylmethane precursor

Jeong ,  Jae-Kyeong ,  Na 외 7명

한국결정학회 학술연구발표회

2000 .01

Epitaxial Ag Film Growth on Si(100)

S. Ahn ,  J. Y. Han ,  N. H. Kim 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07

동시 스퍼터링법으로 Si(100) 및 SiO₂/Si(100) 기판에 증착된 Ni_xFe_100-x 박막의 결정상 및 자기적 특성 변화

강대식 ,  남중희 ,  송종한 외 2명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2009 .12

고주파플라즈마CVD법에 의한 Diamond 박막의 성장과 특성

박상현 ,  장재덕 ,  최종규 외 1명

Applied Science and Convergence Technology

1993 .09

Adsorption and thermal decomposition of 1,3 - disilabutane on the Si(001)2×1 surface

B.J. Baik ,  J.H. Oh ,  T.S. Yang 외 8명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .08

Low temperature 4H - SiC epitaxial growth on 4H - SiC (1120) and (1100) faces by organo - metallic chemical vapor deposition

Jae Kyeong Jeong ,  Myung Yoon Um ,  Hoon Joo Na 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .07

Si₂H6와 H₂ 가스를 이용한 LPCVD내에서의 선택적 Si 에피텍시 성장에 미치는 산소의 영향

손용훈 ,  박성계 ,  김상훈 외 3명

Applied Science and Convergence Technology

2002 .04