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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제6권 제3호
발행연도
1997.8
수록면
181 - 186 (6page)

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TiC(001) 면위에 Mg 금속을 증착시킨 후 상온에서 산소를 노출시키는 방법으로 hetero-epitaxial MgO 막을 성장시켰으며, 성장된 MgO epitaxial 막의 구조를 비행시간형 직충돌 이온산란분광법을 사용하여 해석하였다. MgO 막은 산화 직후 무질서한 배열을 갖으나, 약 300℃의 가열에 의해서 1×1 구조로 전환된다. TiC(001) 위에 성장된 MgO 막은 다음과 같은 구조를 갖고 있음이 밝혀졌다. Mg 및 O 원자는 TiC의 on-top site에 위치하고, 면내방향의 격자상수는 TiC의 격자상수와 일치하며, MgO 막의 대부분은 2층 이내의 원자층으로 구성되어 있다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험방법

3. 결과 및 고찰

4. 결론

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2019-420-001263151