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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제7권 제3호
발행연도
1998.8
수록면
214 - 220 (7page)

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낮은 평형압력을 가진 TDEAT 증착원을 이용하여 TiN 증착을 실시한 실험에서 TiN 증착률에 영향을 주는 인자들에 대하여 연구를 실시하였다. TiN 성장률은 bubbler 온도, 증착온도, 운반기체관의 conductance, 운반기체 종류에 따라 큰 영향을 받고 있었다. 또한 bubbler로 유입되는 운반기체관의 가열에 의하여도 증착률 증가가 적은 범위에서 이루어지고 있음이 관찰되었다. 이와함께 chamber 내로 유입되는 운반관을 90℃로부터 120℃로 가열한 실험에의하면 운반관 가열이 TiN 성장 증가를 일으키고 있으며, 온도에 대한 TiN 성장은 약 0.2 eV의 활성화에너지를 가진 Arrhenius 형태로 증가되고 있었다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험방법

3. 실험결과

4. 결론

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