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이용수
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
5. 참고문헌
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
W - TiN 복층 전극 소자에서 TiN 박막 형성 조건에 따른 특성 분석
Applied Science and Convergence Technology
2001 .07
TiN 기판상에서 CVD텅스텐의 핵생성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .02
마이크로파 플라즈마 화학기상증착법(PECVD)과 저압 화학기상증착법(LPCVD)을 이용한 실리콘 기판 위에서의 텅스텐 박막증착
Applied Science and Convergence Technology
1992 .06
아크로 증착된 TiN 박막의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
이온빔보조증착에 의한 TiN 박막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
스퍼터링 증착변수에 따른 SKD 61강 기판상 TiN 박막의 증착거동 변화
Applied Science and Convergence Technology
1998 .11
공정변수와 후속 열처리가 저압화학증착 다결정 실리콘 박막의 특성에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
고온에서 Sputtering한 TiN 박막의 증착조건에 따른 특성변화
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .02
ALD법으로 증착한 TiN막의 특성
Applied Science and Convergence Technology
2002 .09
화학증착 및 원자층화학증착 표면화학 : 박막증착 관련 화학전구체의 Si(100), GaSb(100) 표면반응 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
Properties of Multi Layer TiN Films Fabricated by Oblique Angle Deposition
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
플라즈마 화학 기상 증착 시스템을 이용한 저온, 저압 하에서 SiN, SiCN 박막 제조
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
유기금속전구체를 이용하여 플라즈마 원자층 증착법으로 증착된 TaN과 TiN 박막의 물성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
Synthesis and Evaluation of a Novel Film TiN-WC/TiN
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2008 .12
TiSi gate 및 텅스텐 B / L spacer용 SiN 박막 증착 공정 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
수소가 흡착된 텅스텐(110) 표면의 이론적 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .06
유기막 위에 증착된 저온 ITO(Indium Tin Oxide) 박막의 식각특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
전자빔 증착법에 의한 Indium Tin Oxide박막의 증착속도에 따른 광학적 물성변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
스파터링(Sputtering)법으로 증착된 텅스텐(W) 게이트(Gate) 금속의 열처리 전후 영향에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
TDEAT TiN 증착률에 영향을 미치는 인자들에 대한 연구
Applied Science and Convergence Technology
1998 .08
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