고분자 공중합체와 알루미늄 양극 산화막 템플레이트를 이용한 나노점 배열 형성

박성찬; 배창현; 박승민; 하정숙

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자료유형: 학술저널

저자정보: 박성찬 배창현 박승민 하정숙

저널정보: 한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제15권 제4호

발행연도: 2006.7

수록면: 427 - 433 (7page)

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자발적인 미세상 분리에 의해 실린더형의 규칙적인 배열을 형성하는 고분자 공중합체와 알루미늄의 양극산화에 의해 실린더형 기공 배열이 형성되는 알루미나 템플레이트를 이용하여 다양한 물질의 나노점 배열을 형성하였다. 펄스형 레이저 기상 증착법을 이용하여 은, 니켈, 산화아연, 실리콘, 코발트/백금 나노점 배열을 얻었는데, 나노점의 크기와 배열은 템플레이트의 기공 크기와 배열을 보여주었다. 이러한 템플레이트 기법을 이용하면 나노점의 밀도는 고분자 공중합체와 알루미나의 경우 각각 6×10<SUP>11</SUP>/㎠와 1×10<SUP>10</SUP>/㎠이다. 이중 에르븀이 도핑된 실리콘 나노점과 ZnO 나노점 배열은 PL 측정을 통하여 물질의 광학성질에 관해 알아보았다. 에르븀이 도핑된 실리콘 나노점 배열은 1.54 ㎛에서 강한 빛을 내며 ZnO 나노점 배열은 380 ㎚에서 강한 PL 세기를 나타낸다.

#고분자 공중합체 #알루미늄 양극 산화막 #나노점 배열 #펄스형 레이저 기상 증착법 #Diblock copolymer #Anodic aluminum oxide #Nanodot arrays #Pulsed laser deposition

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박승민

소속기관 한국진공학회(ASCT)

주요연구분야 자연과학 > 물리학

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하정숙

소속기관 한국진공학회(ASCT)

주요연구분야 자연과학 > 물리학

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