The Effects of Post-annealing Temperatures on Electrical Characteristics of ZnO TFTs

Byngn Il Hwang ,  Kyung Pa ,  k 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

기판의 결정구조에 따른 RF 스퍼터링 ZnO 박막의성장과 미세구조 분석

소순진 ,  유인성 ,  박춘배

전기전자재료학회논문지

2006 .01

RF magnetron sputtering법으로 형성된 ZnO 박막의 투명반도체 특성

김종욱 ,  황창수 ,  김홍배

반도체디스플레이기술학회지

2010 .01

RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 SiO/Si(100) 기판위에 성장시킨 ZnO 박막의 구조 및 광특성

한석규 ,  홍순구 ,  김효진 외 2명

한국재료학회지

2006 .01

Undoped ZnO 박막에 Ampoule-tube 방법을 이용한 P와 As의 확산과 p형 ZnO 박막의 전기적 특성

소순진 ,  박춘배 ,  왕민성

전기전자재료학회논문지

2005 .01

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 ZnO 박막의 증착온도에 따른 구조 및 전기적 특성

오수영 ,  김응권 ,  이태용 외 3명

전기전자재료학회논문지

2007 .01

박막트랜지스터 구동회로용 ZnO 박막의 구조적 특성에 관한 연구

손지훈 ,  김상현 ,  김홍승 외 1명

Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)

2013 .01

In-situ 분위기 Annealing에 따른 ZnO/Sapphire(0001) 박막의구조적 특성 분석

유인성 ,  왕민성 ,  박춘배

전기전자재료학회논문지

2006 .01

RF-Sputtering으로 제작된 ZnO 박막의 열처리특성

서진호 ,  이덕동 ,  이종현 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1984 .11

RF Sputtering으로 제작된 ZnO 박막의 열처리 특성 ( The Annealing Characteristics of ZnO thin Film Prepared by RF-Sputtering )

서진호 ,  이덕동 ,  이종현 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1984 .01

ZnO 스퍼터링에서 기판전압의 변화에 의한 성장 조절

최재원 ,  전원진 ,  조중열

반도체디스플레이기술학회지

2017 .01

RF스퍼터링법으로 제작한 ZnO박막의 특성평가

정세민 ,  정광천 ,  최유신 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

Zn 타겟을 이용한 ZnO 박막트랜지스터의 스퍼터링 성장

우맹 ,  조중열

반도체디스플레이기술학회지

2014 .01

High performance thin film transistor with ZnO channel layer deposited by DC magnetron sputtering

Moon ,  Yeon-Keon ,  Moon 외 11명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2007 .01

금속 촉매가 ZnO 박막을 감지물질로 이용한 NO 센서의 특성에 미치는 영향

정귀상 ,  정재민

센서학회지

2010 .01

Effects of nitrogen doping by dielectric barrier discharge method on ZnO thin film transistor using pulsed laser deposition

전윤수 ,  정유진 ,  조경철 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2010 .07

Cosputtering법으로 증착한 ZnO박막의 Al도핑농도가 미세구조 및 물리적 특성에 끼치는 효과

임근빈 ,  이종무

한국재료학회지

2005 .01

RF-Sputtering 법을 이용한 ZnO:Al 박막의 후 열처리에 따른 특성 변화

이재형 ,  이동진

전기전자재료학회논문지

2008 .01

SAW 대역 통과 필터용 ZnO 박막의 특성 개선 연구

이승환 ,  강광용 ,  유윤식

한국전자파학회논문지

2014 .12