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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
장지근 (단국대학교 전자공학과) 서동균 (단국대학교 전자공학과) 임용규 (단국대학교 전자공학과) 장호정 (단국대학교 전자공학과) 오명환 (단국대학교 전자공학과)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 한국반도체및디스플레이장비학회 2005년도 추계 학술대회
발행연도
2005.1
수록면
83 - 88 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2006

PVP-기반 유기 절연막 형성과 OTFT 제작
장지근 ,  서동균 ,  임용규 한국재료학회지 2006.01 학술저널

2005

PVP 게이트 절연막을 이용한 유기박막트랜지스터 제작
장지근 ,  서동균 ,  임용규 외 2명 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 2005.01 학술대회자료

초록· 키워드

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유기 절연층을 갖는 유기 박막트랜지스터 (organic TFT)를 제작하여 소자 성능을 조사하였다. 유기 절연층의 형성에서는 polyvinyl 계열의 PVP(poly-4-vinylphenol)와 PVT(polyvinyltoluene)를 용질로, PGMEA (propylene glycol mononethyl ether acetate)를 용매로 사용하였다. 또한, 열경화성 수지인 poly(melamine-co-formaldehyde)를 경화제로 사용하여 유기 절연층의 cross-link 를 시도하였다. MIM 구조로 유기 절연층의 특정을 측정한 결과, PVT는 PVP에 비해 절연 특성이 떨어지는 경향을 보였다. 게이트 절연막의 제작에서 PVP를 cobpolymer 방식과 cross-linked 방식으로 실험 해 본 결과, cross-link 방식에서 낮은 누설전류 특성을 나타내었다. OTFT 제작에서는 PVP를 용질로, poly(melanine-co-formaldehyde)를 경화제로 사용한 cross-linked PVP 를 게이트 절연막으로 이용하였다. PVP copolymer($20\;wt\%$)에 $10\;wt\%$ poly(melamine- co-formaldehyde)를 혼합한 cross-linked PVP 를 게이트 절연막으로 사용하여 top contact 구조의 OTFT를 제작한 결과 약 $0.23\;cm^2/Vs$의 정공 이동도와 약 $0.4{\times}10^4$의 평균 전류점멸비를 나타내었다.

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