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Ti / TiN 이층 BARRIER 구조를 갖는 0.5μm CONTACT의 P+ CONTACT 저항
대한전자공학회 학술대회
1994 .01
Ti/TiN 구조 Barrier Metal의 형성과 그 Contact특성
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
Ti / TiN 구조 Barrier Metal의 형성과 그 Contact 특성 ( The Formation and Contact Characteristics of Ti / TiN Structure Barrier Metal )
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
TiN의 충진처리가 확산방지막 특성에 미치는 영향(II) : Cu/TiN/Si 구조
한국재료학회지
1995 .01
Characteristics of TiN/TiSi₂ Contact Barrier Layer by Rapid Thermal Anneal in N₂ Ambient
전기학회논문지
1992 .06
열처리에 따른 TiN Diffusion Barrier 에서의 Oxygen 거동에 관한 연구 ( Oxygen Behaviors During Heat Treatment of TiN Diffusion Barriers )
대한전자공학회 학술대회
1991 .11
TiN 상에서의 CVD텅스텐막의 성장
한국재료학회 학술발표대회
1992 .01
TiN의 Cu 확산 방지막 특성
한국재료학회 학술발표대회
1995 .01
Reliability of Aluminum Film with TiN Barrier Metal
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1991 .01
TiN의 충진처리가 확산방지막 특성에 미치는 영향(I) : Al/TiN/Si 구조
한국재료학회지
1995 .01
Life Prediction and Failure Mechanisms for Thermal Barrier Coatings
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1993 .05
TiN 표면 위에 텅스텐의 화학증착 ( Chemical Vapor Deposition of Tungsten on TiN Surface )
전자공학회논문지-A
1992 .04
접촉응력 해석에 의한 TiN 코팅의 기계적 특성 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2013 .04
고밀도 플라즈마 CVD 방법에 의한 TiN barrier metal 형성과 특성
한국재료학회지
1999 .01
TiN 에 대한 W의 부착특성에 관한 연구(l)
한국재료학회지
1993 .01
Ti/TiN/Ti buffer layer/TiN 구조를 갖는 TiN 박막의 충격마모특성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2001 .11
Reactive-Sputtered TiN Diffusion Barriers의 광학적 특성에 관한 연구 ( Optical Properties of TiN Diffusion Barriers Deposited by Reactive Sputtering )
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
TiN에 대한 W의 부착특성에 관한 연구(II)
한국재료학회지
1993 .01
Properties and Diffusion Barrier Performance of MOCVD TiN Films
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1997 .01
디지털 지형 모델 분석을 위한 효과적인 TIN의 속성
한국정보과학회 학술발표논문집
2002 .04
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