INDUCTIVELY COUPLED PLASMA (ICP) OXIDATION FOR LOW-TEMPERATURE POLY-Si THIN FILM TRANSISTORS

Park, Yong-Woo; Ahn, Byung-Tae

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: Park, Yong-Woo (Dept. of Materials Science and Engineering, KAIST, Taejon) Ahn, Byung-Tae (Dept. of Materials Science and Engineering, KAIST, Taejon)

저널정보: 한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 1998년도 IUMRS-ICEM ABSTRACT BOOK

발행연도: 1998.1

수록면: 681 - 681 (1page)

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Park, Yong-Woo

소속기관 Department of Materials Science and Engineering, Korea Advanced Institute of Science and Technology

주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학

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Ahn, Byung-Tae

소속기관 Department of Materials Science and Engineering, Korea Advanced Institute of Science and Technology

주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학

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