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이용수
1. 서론
2. 본론
3. 결론
[참고문헌]
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ICP 방법으로 증착한 SiC 박막의 성장 및 특성 고찰
대한전기학회 학술대회 논문집
1998 .11
Characterizations of i-a-Si:H and p-a-SiC:H Film using ICP-CVD Method to the Fabrication of Large-area Heterojunction Silicon Solar Cells
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2008 .01
Low temperature preparation of SnO₂films by ICP-CVD
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2007 .04
유도결합 플라즈마(ICP) 화학기상 증착법(CVD)을 이용한 SnO₂ 박막의 광학적 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .05
수치모델을 이용한 ICP-CVD 장치의 증착 균일도 해석
한국표면공학회지
2008 .12
ICP-CVD 방법을 이용한 탄소나노튜브의 제작 및 물성분석
대한전기학회 학술대회 논문집
2002 .07
ICP-CVD로 중착된 미세결정 실리콘 박막의 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
RP-CVD에 의한 비정질 실리콘 박막의 특성 ( Characterization of a-Si : H films deposited by a remote plasma CVD )
대한전자공학회 학술대회
1989 .11
INDUCTIVELY COUPLED PLASMA (ICP) OXIDATION FOR LOW-TEMPERATURE POLY-Si THIN FILM TRANSISTORS
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
CVD Pt 박막의 증착과 특성 분석
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
마이크로웨이브 플라즈마 CVD에 의한 나노결정질 다이아몬드 박막 성장 시 DC 바이어스 효과
한국표면공학회지
2013 .02
DEPOSITION OF A-SIC : H FILMS ON AN UNHEATED SI SUBSTRATE BY LOW FREQUENCY (50㎐) PLASMA Cvd
한국표면공학회지
1996 .12
마이크로파 플라즈마 CVD 방법으로 Si, Inconel 600 및 Steel 모재위에 증착된 다이아몬드 박막의 증착특성
한국표면공학회지
1995 .06
유도결합 화학 기상 증착법(ICP-CVD)를 이용한 ZnO 박막의 texture조절 및 광학적 특성 평가
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .05
P-CVD에 의한 Undoped a-Si : H 박막의 증착 ( undoped a-Si : H thin films by Plasma Deposition )
대한전자공학회 학술대회
1984 .01
P-CVD에 의한 Undoped a-Si:H 박막의 증착
대한전자공학회 학술대회
1984 .11
ECR CVD를 이용한 비정질 실리콘 박막의 증착 조건과 광학적 특성 ( The Deposition Condition and Optical Characteristics of A-Si : H Films Deposited By ECR CVD )
대한전자공학회 학술대회
1996 .11
ECR CVD를 이용한 비정질 실리콘 박막의 증착 조건과 광학적 특성
대한전자공학회 학술대회
1996 .11
Hot Wire CVD법에 의한 미세결정 실리콘 박막의 저온 증착
대한전기학회 학술대회 논문집
2000 .07
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