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글로우방전을 이용한 PET 직물의 투습방수가공(II) - $C_2F_6$ 플라즈마 처리시의 발수성 -
한국섬유공학회지
1996 .01
글로우 방전을 이용한 PET 직물의 투습방수가공(I) - $CF_4$ 플라즈마 처리 및 Ar 플라즈마 전처리시의 발수성 -
한국섬유공학회 학술발표논문집
1995 .01
폴리비닐알코올 필름 표면특성에 있어 $CF_{4}$ 플라즈마 처리의 영향
한국섬유공학회지
2005 .01
유체시뮬레이션을 통한 Ar/CF₄ 자화유도결합 플라즈마의 특성 연구
전기학회논문지
2015 .04
아르곤과 혼합된 사불산화탄소 가스의 플라즈마 분해에 관한 공간 평균 시뮬레이션
조명·전기설비학회논문지
2018 .12
Etching Characteristics and Mechanism of Low Temperature Deposited Silicon Nitride Film Using Inductively Coupled CH2F2/O2/Ar Plasma
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .11
O 플라즈마로 전처리된 PET 및 PI 필름의 2단계 CHF 플라즈마 처리가 필름의 표면특성에 미치는 영향
한국섬유공학회지
2012 .01
비열플라즈마를 이용한 CF4 분해에 미치는 혼합가스의 영향
전기전자재료학회논문지
2002 .01
주사 플라즈마 법(SPM)을 이용한 소수성 표면처리
전기전자재료학회논문지
2010 .01
Model based analysis of etching mechanism of HfO₂ films in inductively coupled CF₄/O₂/Ar and CHF₃/O₂/Ar plasma for dielectric mask
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .11
Ar/CF4 Gas를 이용한 대면적 유도결합 플라즈마의 광분석 장치 개발에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2014 .07
CF₄/Ar 플라즈마를 이용한 SBT 박막 식각에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1999 .07
CF4 플라즈마를 이용한 건식식각에 관한 연구 ( A study on dry etching process using CF4 Plasma )
대한전자공학회 학술대회
1986 .01
CF₄ 플라즈마를 이용한 건식식각에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1986 .12
진공 저온 플라즈마와 대기압 코로나 방전가공 PET 직물의 물리화학적 특성
한국염색가공학회지
2014 .09
CF₄ 플라즈마를 이용한 건식식간에 관한 연구
전기학회논문지
1987 .11
발수가공 시 전자빔 조사가 화학재생 폴리에스터 직물의 발수효과와 내세탁성에 미치는 영향
한국염색가공학회지
2015 .06
CF₄/Cl₂/Ar 고밀도 플라즈마를 이용한 PZT 박막의 식각 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2001 .07
CF4/O2 gas 플라즈마를 이용한 폴리이미드 박막의 식각
전기전자재료학회논문지
2002 .01
CF₄ 분해용 플라즈마 반응기의 방전 특성
한국조명·전기설비학회 학술대회논문집
2004 .05
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