실리콘 직접 접합을 위한 선형가열법의 개발 및 SOI 기판에의 적용

이진우 ,  강춘식 ,  송오성 외 1명

한국표면공학회지

2000 .04

SiO₂/SOI 구조의 계면트랩밀도 측정

강희성 ,  이석하 ,  안창근 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

SiO2 / SOI 구조의 계면트랩밀도 측정 ( Evaluation of Interface Trap Density of SiO2 / SOI Structure )

강희성 ,  이석하 ,  안창근 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

선형접합기를 이용한 Si∥1.3㎛-SiO₂/1.3㎛-SiO₂∥Si SOI 기판의 직접접합

송오성 ,  이영민 ,  이상현 외 2명

한국표면공학회지

2001 .02

열처리 방법에 따른 실리콘 기판쌍의 접합 특성

송오성 ,  주영창 ,  이상현 외 1명

전기전자재료학회논문지

2003 .01

수소 플라즈마를 이용한 SOI 기판 제작 및 SOI 전력용 반도체 소자 제작에 관한 연구

성만영

대한전기학회 학술대회 논문집

2000 .11

웨이퍼 접합 방법을 이용한 SOI 웨이퍼 제작

강성건 ,  서광 ,  김흥락 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

열처리 방법에 따른 SOI 기판의 스트레스변화

서태윤 ,  이상현 ,  송오성

한국재료학회지

2002 .01

접합형 SOI 웨이퍼에 존재하는 결함분포

이곤섭 ,  박정민 ,  이재선 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

SOI 기술의 이해와 고찰: 소자 특성 및 공정, 웨이퍼 제조

최광수

한국재료학회지

2005 .01

열처리 방법에 따른 이종절연층 실리콘 기판쌍의 직접접합

송오성 ,  이기영

전기전자재료학회논문지

2003 .01

Micro Gas Sensor의 Membrane용 $SiN_x$막과 $SiN_x/SiO_x/SiN_x$막의 응력과 굴절율

이재석 ,  박준식 ,  박효덕 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

SOI 웨이퍼 제조공정의 온도해석

정경훈 ,  김옥삼

한국동력기계공학회 학술대회 논문집

2000 .05

SOI 기술의 연구동향

이종현

전자공학회지

1987 .08

수소 플라즈마에 의해 표면 활성화된 실리콘 기판을 이용한 SOI 기판 제작에 관한 연구

최우범 ,  주철민 ,  이종석 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07

A TREND OF SOI WAFER TECHNOLOGY FOR THE NEXT GENERATION DEVICE APPLICATIONS

Ryoo ,  Kun-Kul

Fabrication and Characterization of Advanced Materials

1995 .01

직접 접합에 의한 Al2O3 SOI 구조 제작

공대영 ,  이종현 ,  배영호 외 1명

센서학회지

2005 .01

Bonded SOI wafer의 top Si과 buried oxide layer의 결함에 대한 연구

김석구 ,  백운규 ,  박재근

한국재료학회지

2004 .01