Gate 산화막으로 $HfO_2$ 박막을 이용하여 제작한 NFET 특성 고찰

박재후 ,  조문주 ,  박홍배 외 4명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2003 .01

ALD 방법으로 Si(100) 기판에 증착한 $HfO_2$ 게이트 유전박막의 특성

김좌연 ,  이희환 ,  채상훈 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

Si기판위에서 CVD를 이용한 gate dielectric 용 HfO$_2$ 박막의 증착과 분석

박병건 ,  박재후 ,  조문주 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

HfO₂ 박막 특성에 대한 주성분 분석을 이용한 신경망 모델링

고영돈 ,  이정환 ,  함문호 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .10

Effects of Working Pressure on Structural and Optical Properties of HfO2 Thin Films

정양희 ,  강성준

한국전자통신학회 논문지

2017 .01

ALD법으로 성장한 HfO 박막의 열처리에 따른 특성변화

이재웅 ,  함문호 ,  맹완주 외 2명

한국재료학회지

2007 .01

저전력 휴대용 통신단말을 위한 이온빔 처리된 HfO2 박막의특성 연구

김원배 ,  이호영

한국위성정보통신학회논문지

2015 .01

$Hf(MMP)_4$원료 물질을 이용해서 증착한 MOCVD $HfO_2$ 박막의 특성 분석

박재후 ,  조문주 ,  박홍배 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

HfO₂-Si의 조성비에 따른 HfSiO_x의 IZO 기반 산화물 반도체에 대한 연구

조동규 ,  이문석

전자공학회논문지

2013 .02

New HFO-Based Option(HFO기반의 다양한 냉매 옵션)

윤린

설비저널

2011 .04

습식식각을 이용한 HfO₂ 박막의 식각특성

양정열 ,  황택성 ,  곽노석 외 2명

전기전자재료학회논문지

2011 .01

ALD방법으로 증착한 $HfO_2$ 박막의 성장기구와 전기적 성질에 관한 고찰

조문주 ,  박재후 ,  박병건 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

ALD 방법으로 증착된 HfO₂/Hf 박막을 게이트 절연막으로 사용한 MOS 커패시터 제조

이대갑 ,  도승우 ,  이재성 외 1명

전자공학회논문지-SD

2007 .05

Non-saturated Atomic Layer Deposition for Composition Adjustment in $Al_2O_3-HfO_2$ Thin Films

정회성 ,  김지헤 ,  강상원

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

Density Functional Theory를 이용한 CaO 안정화 Cubic-HfO의 산소 공공 구조 연구

김종훈 ,  김대희 ,  이병언 외 2명

한국재료학회지

2008 .01

원자층 증착법으로 $HfO_2$ 박막이 코팅된 ZnS 형광체 분말의 발광 특성 향상

김형수 ,  김혁종 ,  김민완 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

ALD방법으로 성장된 HfO₂/Hf/Si 박막의 전기적 특성

이대갑 ,  도승우 ,  이재성 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2006 .06

전처리에 따른 $HfO_2$ MOS-Cap의 전기적 특성 평가

양대준 ,  김주연 ,  손영준 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2006 .01

DP매칭에 의한 On-Line 악보인식

구상훈 ,  이병선 ,  김수경 외 1명

한국정보기술응용학회 학술대회

2002 .01