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학술저널
저자정보
김정재 (한국과학기술원 기계공학과 NOM 연구실) 최영만 (한국과학기술원 기계공학과 NOM 연구실) 김기현 (삼성전자 메카트로닉스 연구센터) 권대갑 (한국과학기술원 기계공학과[&#12828) 홍동표 (나노스코프시스템즈])
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체및디스플레이장비학회지 반도체및디스플레이장비학회지 제5권 제4호
발행연도
2006.1
수록면
1 - 4 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2006

고속 세틀링과 고정밀 위치 제어를 위한 모드 변경 제어 기법
김정재 ,  최영만 ,  김기현 외 2명 반도체및디스플레이장비학회지 2006.01 학술저널
고속 초정밀 장행정용 이중 서보 시스템의 고속 세틀링을 위한 모드 변경 제어 기법
김정재 ,  최영만 ,  김기현 외 2명 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 2006.01 학술대회자료

2005

빠른 정착시간과 정밀 위치제어를 위한 대행정 초정밀 시스템의 모드 변경 제어 기법
김정재 ,  최영만 ,  권대갑 제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집 2005.10 학술대회자료

초록· 키워드

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Recently, with rapid development of digital media like semiconductor and large flat panel display, the manufacturing equipment is required to have high precision over large travel range. Moreover it should have high product throughput. To achieve high product throughput, a controller should perform fast point-to-point motion and high precision positioning after settling in spite of external disturbances or residual vibrations. We proposed a new mode switching control algorithm with an application to dual stage for long range and high precision positioning. The proposed algorithm uses a proximate time-optimal servomechanism for the fast settling and a time-delay controller for the high precision positioning. Experimental results show that the proposed method enables smooth mode switching and improves the settling time and the precision accuracy after settling by over than 33% and 45%, respectively.
#Fast Settling #Dual Stage #Mode Switching Control #PTOS #TDC

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