355nm UV 레이저를 이용한 마이크로 렌즈 어레이 쾌속 제작

제순규; 박강수; 오재용; 김광렬; 박상후; 고정상; 신보성

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자료유형: 학술저널

저자정보: 제순규 (부산대학교) 박강수 (부산대학교) 오재용 (한양대학교) 김광렬 (부산대학교) 박상후 (부산대학교) 고정상 (부산대학교) 신보성 (Busan University)

저널정보: 한국레이저가공학회 한국레이저가공학회지 한국레이저가공학회지 제11권 제2호

발행연도: 2008.1

수록면: 26 - 32 (7page)

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연구결과

이 논문의 연구 히스토리 (3)

2009

355nm UV 레이저를 이용한 마이크로 렌즈 어레이 쾌속 제작에 관한 연구

제순규 , 박상후 , 최춘기 외 1명 소성·가공 2009.07 학술저널

2008

355㎚ UV 레이저를 이용한 음성PR의 마이크로 렌즈 어레이 제작

제순규 , 박강수 , 박상후 외 4명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2008.06 학술대회자료

355nm UV 레이저를 이용한 마이크로 렌즈 어레이 쾌속 제작

제순규 , 박강수 , 오재용 외 4명 한국레이저가공학회지 2008.01 학술저널

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Micro lens array (MLA) is widely used in information technology (IT) industry fields, for examples such as a projection display, an optical power regulator, a micro mass spectrometer and for medical appliances. Recently, MLA have been fabricated and developed by using a reflow method, micro etching, electroplating, micromachining and laser local heating. Laser local thermal-expansion (LLTE) technology demonstrates the formation of microdots on the surface of polymer substrate, in this paper. We have also investigated the new direct fabrication method of placing the MLA on the surface of a SU-8 photoresist layer. We have obtained the 3D shape of the micro lens processed by UV laser irradiation and have experimentally verified the optimal process conditions.

#MLA #Micro Lens Array) #direct fabrication #LLTE #Laser Local Thermal-Expansion)

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