반도체 플라즈마 에칭 상부 전극의 표면 품질 형성에 관한 가공법 평가

이은영; 김문기

추천

검색

자료유형: 학술저널

저자정보: 이은영 (한국기술교육대학교 메카트로닉스공학과) 김문기 (한국기술교육대학교 메카트로닉스공학부)

저널정보: 한국반도체디스플레이기술학회 반도체디스플레이기술학회지 반도체디스플레이기술학회지 제18권 제4호

발행연도: 2019.1

수록면: 1 - 5 (5page)

이용수

📌

연구주제

📖

연구배경

🔬

연구방법

🏆

연구결과

이 논문의 연구 히스토리 (2)

2021

반도체 고밀도 플라즈마 식각장치의 상부 전극 품질 최적화 연구

이은영 메카트로닉스공학과 2021.01 학위논문

2019

반도체 플라즈마 에칭 상부 전극의 표면 품질 형성에 관한 가공법 평가

이은영 , 김문기 반도체디스플레이기술학회지 2019.01 학술저널

이 논문의 후속연구가 궁금하신가요?
연관 학술논문 또는 학술발표를 통해 보다 발전된 연구결과를 확인하실 수 있습니다.
이 논문의 연구 히스토리 확인하기

초록· 키워드

오류제보하기

This study has been focused on properties of surface technology for large diameter upper electrode using in high density plasma process as like semi-conductor manufacturing process. The experimental studies have been carried out to get mirror surface for upper electrode. For a formation of high surface quality upper electrode, single crystal silicon upper electrode has been mechanical and chemical machining worked. Mechanical machining work of the upper electrode is carried out with varying mesh type using diamond wheel. In case of chemical machining work, upper electrode surface roughness was observed to be strongly dependent upon the etchant. The different surface roughness characteristics were observed according to etchant. The machining result of the surface roughness and surface morphology have been analyzed by use of surface roughness tester, laser microscope and ICP-MS.

#Upper electrode #Plasma etch #Surface roughness #Surface morphology #Semiconductor

참고문헌 (10)

참고문헌 신청

Masahiko yoshino / 2008 / Critical depth of hard brittle materials on Nano plastic forming / Journal of Advanced Mechanical Design, Systems and Manufacturing 2(1):59~70

H. D. Jeong / 1996 / Mirror Surface Grinding Using Ultrafine Grit Wheel / Journal of the Korean Society for Precision Engineering 13(6):45~51

Jongchan Lee / 1998 / A Study on the Silicon Grinding / Journal of the Korean Society for Precision Engineering :46~50

Yong-Woo Kim / 2008 / The Characteristics of Machined Surface Controlled by Multi-Arrayed Diamond Tip the Characteristics of Machined Surface Controlled by Multi-Arrayed Diamond Tip / Proceedings of the KSMPE Conference :204~208

오한석 / 2002 / 반도체 실리콘의 웨이퍼링 및 정밀연삭공정후 잔류한 기계적 손상에 관한 연구 / 한국정밀공학회지 19(6):145~154

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이은영

소속기관 한국기술교육대학교 메카트로닉스공학과

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 2 이용수 37

김문기

소속기관 한국기술교육대학교 메카트로닉스공학부

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 3 이용수 38

최근 본 자료

전체보기

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	원문	원문 PDF 파일
AI 학습용 데이터	원문 + 메타 (기본/상세)	원문 PDF 파일 및 서지정보 CSV
대량 구매용 데이터	B2B 구독 방식	특정 자료 한정으로 원문 접근 권한 부여
대량 구매용 데이터	URL 전달 방식	바로 PDF 뷰어를 열람할 수 있는 URL 제공

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	기본 메타	발행기관명, 간행물명, 권호명, 권(vol), 호(issue), 통권, 발행연도, 발행월, 논문명, 저자명, 시작페이지, 종료페이지, 전체페이지, 상세페이지URL
상세 메타 데이터	발행기관 메타	발행기관 이명, 영문명, 창립연도, 홈페이지URL, 발행기관 소개
	간행물 메타	부제목, 간행물 유형, ISSN, ISBN, 최초발행연도, 폐간연도, 간행빈도, 발행주기, 등재사항, 이용수, 피인용수, 권호수, 논문수, 표지이미지
	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

구분	그룹	데이터 항목
※ 결합형/맞춤형 메타 데이터는 신청 내용에 따라 다양하게 제공 가능
이용순위 정보	주제분야별 많이 이용된 논문	“인문학”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	이용기관별 많이 이용된 논문	“중고등학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	세부기관별 많이 이용된 논문	“서울대학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	키워드별 많이 이용된 논문	“Chat GPT”에서 많이 이용된 논문 TOP100
키워드 정보	많이 이용된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 이용된 키워드
	많이 발행된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 발행된 키워드
	많이 검색된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 검색된 키워드
	연구 트렌드 키워드	특정 키워드 연관 연구동향 분석 데이터 키워드

논문 기본 정보

이 논문의 연구 히스토리 (2)

초록· 키워드

AI 요약

연구주제

연구배경

연구방법

연구결과

주요내용

목차

참고문헌 (10)

함께 읽어보면 좋을 논문

이 논문의 저자 정보

최근 본 자료

댓글(0)