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자료유형
학술저널
저자정보
조윤정 (청주대학교 반도체공학과) 채홍주 (청주대학교 반도체공학과) 오데레사 (청주대학교 반도체공학과)
저널정보
산업진흥원 산업진흥연구 산업진흥연구 제1권 제2호
발행연도
2016.1
수록면
13 - 17 (5page)

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ZTO의 결정성의 변화에 따른 전기적인 특성을 조사하기 위해서 진공 중에서 열처리를 하여, 전류전압 특성을 조사하였다. ZTO 박막은 진공 중에서 열처리를 하면 계면에서 접합효과에 의해 많은 결함들이 생기고 이온화에 의해 공핍층이 생성된다. 결함과 공핍층의 형성은 열처리 온도에 따라서 달라지며, 결정성, 결합에너지는 물론 결과적으로 전하량의 변화에 의해 전기적인 특성이 변화하는 것을 알 수 있었다. ZTO 박막은 열처리하면서 결정성이 높아졌으며, 150도 열처리한 ZTO 박막에서 전기적으로 많은 전류가 형성되는 것을 확인하였다.
#결합에너지 #쇼키 접합

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참고문헌 (11)

참고문헌 신청
오성훈 / 2012 / DC, RF 마그네트론 코스퍼터링법으로 증착한 ZTO/GZO 투명전도성막의 열처리 조건이 박막의 물성에 미치는 영향 / 한국표면공학회지 45(3):117~122 dbpia 김화민 / 2005 / 마그네트론 스퍼터링 방법으로 제작된 In2O3-ZnO 박막의 전기적 특성에 대한 열처리 효과 / Applied Science and Convergence Technology 14(4):238~244 google schola 오데레사 / 2015 / ZnO, SnO2, ZTO 산화물반도체의 전기적인 특성 분석 / 한국재료학회지 25(7):347~351 google schola 안용덕 / 2016 / IGZO 박막 증착 후 진공과 대기 중에서 열처리한 후 결합구조와 전기적인 특성의 비교 / 산업진흥연구 1(1):7~11 dbpia 우맹 / 2014 / Zn 타겟을 이용한 ZnO 박막트랜지스터의 스퍼터링 성장 / 반도체디스플레이기술학회지 13(3):35~38 dbpia

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