Enhancement of Electrical Properties of GaN-based Devices by Atomic Layer Etching

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저자정보: 김두산 (Sungkyunkwan University) 길유정 (Sungkyunkwan University) 장윤종 (Sungkyunkwan University) 김예은 (Sungkyunkwan University) 김동우 (Sungkyunkwan University) 염근영 (Sungkyunkwan University)

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#atomic layer etching (ALE) #cyclic process #gallium nitride (GaN) #µLEDs

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