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웨이퍼 수율 증대를 위한 상하부재형 리테이너링의 단면 영향도 연구
대한산업공학회지
2020 .02
폴리머 재질의 리테이너 베어링 수명 특성 분석
대한기계학회 춘추학술대회
2015 .02
성형 해석을 통한 후변형 개선 리테이너 연구
한국자동차공학회 추계학술대회 및 전시회
2021 .11
CMP Retainer Ring 단면 형상에 따른 Wafer 유효면적 변화
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .12
최적화 해석을 통한 최적화 리테이너 연구
한국자동차공학회 춘계학술대회
2022 .06
화학적기계연마 공정에서 연한 연마패드 표면 구조의 기계적 역할에 대한 고찰
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
고속 볼베어링 리테이너 최적화를 위한 원심력 해석
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .11
연마율 개선을 위한 화학적기계연마 패드 표면돌기의 기계적 특성 제어
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2021 .11
패드 표면의 마이크로패턴 형상에 따른 화학적기계연마 재료제거율
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .06
유한요소해석을 통한 리테이너의 설계 안전성 검증
대한설비관리학회지
2020 .01
화학기계적 연마에서 컨디셔닝 시스템에 따른 연마 패드 프로파일해석 및 실험적 검증
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
화학기계적 연마(CMP)에서 연마 헤드의 오실레이션 속도에 따른 상대속도 변화 해석
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .06
두께 6 ㎛ 이하의 2 차전지용 고밀도 전극 가공 Retainer 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .05
수직 정렬된 탄소나노튜브에 의한 긁힘마멸과 표면연마
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2021 .11
CMP 에서 리테이너 링의 내경이 웨이퍼 에지 프로파일에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
고속 구동 시 유동 저항 최소화를 위한 리테이너의 형상 최적화
한국트라이볼로지학회 학술대회
2022 .04
자성입자연마 가공공구에 따른 연마형상 예측
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
2차전지용 고밀도 전극 가공 Retainer 변형 및 경향성 분석
한국소성가공학회 학술대회 논문집
2018 .05
구리 CMP 공정에서 온도가 미치는 영향
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .11
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