EBSD를 통한 관통 실리콘 비아 패턴에서의 구리도금층의 미세조직 관찰

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저자정보: 이효종 (동아대학교) 김상혁 (동아대학교) Daniel Josell (미국국립표준연구소) Thomas P. Moffat (미국국립표준연구소)

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