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자료유형
학술저널
저자정보
임재광 (한국교통대학교) 박재환 (한국교통대학교) 이정호 (아이블포토닉스) 이상구 (아이블포토닉스)
저널정보
한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징학회지 마이크로전자 및 패키징학회지 제27권 제4호
발행연도
2020.1
수록면
91 - 96 (6page)

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Pb(In1/2Nb1/2)O3-Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3계 압전 단결정의 유전특성과 압전특성을 전계 및 압축응력 인가 조건 하에서 33-모드 방식으로 측정하였다. 110~140oC 영역에서 저온 rhombohedral 구조에서 고온 tetragonal 구조로의 상전이가 관찰되었으며, cubic 구조로 변화하는 큐리온도는 165oC 정도로 나타났다. 압축응력 및 전계 변화에 따른 분극의크기변화를 측정하였다. 전계인가 분극 곡선의 기울기로부터 비유전율을 계산하였고, 인가되는 응력의 크기가 증가할수록 계산된 비유전율의 크기는 증가하고, 인가되는 전계의 크기가 증가할수록 비유전율의 크기는 감소하는 경향성을 나타내었다. 압축응력 및 전계 변화에 따른 변위 거동을 측정하였으며, 곡선의 기울기로부터 압전상수를 계산하였고 압력인가에 따른 상전이를 확인하였다. 수중 또는 의료용 초음파 발진자로 실제 응용할 경우 선형성을 유지하여 구동이 가능하기 위하여 소자 기구물을 형성하는 단계에서 인가하게 되는 압축응력의 크기와 구동 전계의 DC 바이어스의 크기를 적절하게 설계할 필요가 있다.
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목차

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참고문헌 (7)

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K. Uchino / 1986 / Electrostrictive Actuators: Materials and Applications / Am. Ceram. Soc. Bull 65(4):647 google schola 이기근 / 2005 / Improving sensitivity of SAW-based pressure sensor with metal ground shielding over cavity / 마이크로전자 및 패키징학회지 12(3):267~274 dbpia S. W. Choi / 1989 / Dielectric and Pyroelectric Properties in the Pb(Mg1/3Nb2/3)O3 –PbTiO3 System / Ferroelectrics 100:29 google schola 임재광 / 2019 / 온도 및 압축응력 변화에 따른 PIN-PMN-PT 단결정의 유전 및 압전 특성 / 마이크로전자 및 패키징학회지 26(4):63~68 dbpia Ibule photonics Inc google schola

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