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저자정보
Ochirkhuyag Tungalagtamir (Pukyong National University) Yoon-Soo Park (Pukyong National University) Jaewon Lee (Jungwon University) Scooter D. Johnson (Naval Research Laboratory) Dong-Soo Park (Korea Institute of Materials Science) Chan Park (Pukyong National University)
저널정보
한양대학교 세라믹공정연구센터 Journal of Ceramic Processing Research Journal of Ceramic Processing Research 제21권 제5호
발행연도
2020.1
수록면
571 - 578 (8page)

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Monoclinic zirconia films were deposited by spraying monoclinic zirconia granules on glass substrates in a low vacuumenvironment. In order to spray the granules through a nozzle, air and He were used to carry and accelerate the granules. Flowrates of air and He were varied in order to study their effect on granule velocity and deposition efficiency. For both air andHe, granule velocity increased with their flow rate. For the same gas flow rate, granule velocity was much higher when Hewas used than when air was used. Variation of deposition efficiency according to the gas and gas flow rate was similar to thatof granule velocity. Highest deposition efficiency was 1.87% which may be the highest deposition efficiency of ceramic filmsby room temperature spray of ceramic particles or granules to date. The results support that granule velocity is closely relatedto deposition efficiency. The deposited films were quite dense and retained the crystalline phase of the granules.
#Granule spray in vacuum (GSV) #Zirconia film #Deposition efficiency #Granule velocity #Process gas.

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J. Akedo / 2008 / J. Thermal Spray Tech 17:181~198 google schola J. Akedo / 2006 / J. Am. Ceram. Soc 89:1834~1839 google schola D. Hanft / 2015 / J. Ceram. Sci. Tech 6:147~182 google schola E. Fuchita / 2010 / J. Ceram. Soc. Japan 118:948~951 google schola B. -D. Hahn / 2009 / J. Am. Ceram Soc 92:683~687 google schola

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