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자료유형
학술저널
저자정보
Ochirkhuyag Tungalaltamir (부경대학교) 강영림 (부경대학교) 박운익 (부경대학교) 박동수 (재료연구소) 박찬 (부경대학교)
저널정보
한국결정성장학회 한국결정성장학회지 한국결정성장학회지 제32권 제5호
발행연도
2022.10
수록면
205 - 211 (7page)
DOI
10.6111/JKCGCT.2022.32.5.205

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GSV (Granule Spray in Vacuum)는 상온의 진공하에서 나노 크기의 치밀한 세라믹 코팅층을 형성하는 방법이다. 일반적으로, 단사정의 지르코니아는 1150°C에서 정방정으로 변태하며, 이때 6.5 %의 체적변화를 일으켜 치밀한 단사정의지르코니아를 만들기 어렵다. 본 연구에서는 코팅 효율에 대한 두 가지 처리 변수의 효과를 조사하는 데 중점을 두었다. 아울러, 특별한 가열과정 없이 형성된 필름의 미세구조에 관찰하였다. 샘플 기판에 증착된 지르코니아 필름에 대한 X-raydiffractometer (XRD) 분석은 단사정 지르코니아 필름이 성공적으로 증착되었음을 보여주었다.
#Granule spray in vacuum (GSV) #Zirconia film #Deposition efficiency #Standoff distance #Monoclinic zirconia

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