OLED 선형 증착원의 소형화 된 수정진동자저울 최적 위치선정

김만수; 설재완; 박성종; 이규필

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김만수 (삼성공과대학교) 설재완 (삼성디스플레이) 박성종 (삼성디스플레이) 이규필 (삼성공과대학교)

저널정보: 대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 2021년도 대한전자공학회 추계학술대회 논문집

발행연도: 2021.11

수록면: 516 - 519 (4page)

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For organic light emitting diode get competitiveness in the display market, it need to reduce the manufacturing cost that higher than liquid crystal display. . In the process of forming an organic film for light emitting on the glass substrate through the deposition process, a large amount of evaporation particles are discharged to the outside of the glass substrate and wasted. A project has been suggested to shorten the deposition distance to reduce the amount of wasted materials and reduce the manufacturing cost. The Compact Quartz Crystal Microbalance (QCM) has been developed to shorten the deposition distance. If the position of The Compact QCM and the angle of the evaporation particle detection unit change, the deposition source control performance also changes. In order to secure the reliability of large-scale manufacturing process, number of test, time, labor cost and material cost are spent in this process repeatably. In this study, simulation and actual performance test were executed to select the optimal position of the Compact QCM. As a result, it reduced repeated test time and cost of organic material by 75%

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