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저자정보
김준호 (전남대학교) 모수인 (전남대학교) 박광선 (전남대학교) 김형순 (전남대학교) 김도형 (전남대학교) 윤정우 (전남대학교)
저널정보
한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징학회지 마이크로전자 및 패키징학회지 제29권 제1호
발행연도
2022.3
수록면
61 - 66 (6page)

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이 연구는 원자층 증착(Atomic Layer Deposition, ALD) 기술을 사용하여 나노미터 크기의 금속 촉매 물질을연료극 층에 코팅하여 표면적을 늘리고 촉매의 효과를 극대화시키기 위한 연구이다. ALD 공정은 기판 위에 원자 수준에서 잘 제어된 두께를 갖는 균일한 막을 제조하는 것으로 알려져 있다. 우리는 고체산화물 연료전지의 연료극 물질로 가장 널리 알려진 Ni/YSZ 위에 금속(Ni)을 코팅하여 성능을 측정하였다. ALD 코팅은 3 nm 이상의 코팅에서 전지 성능의감소를 보이기 시작했다
#Solid Oxide Fuel Cell (SOFC) #Atomic Layer Deposition (ALD) #Alternative Anode

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