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EUV 마스크 회전 정렬을 위한 θz 스테이지의 최적 설계
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .11
최소 비트 오류 확률 관점에서 stepped θ-QAM 최적 θ 분석
대한전자공학회 학술대회
2019 .06
역률각 θ항이 없는 수정된 등가저항법 공식을 이용한 배전선로의 전압계산
조명·전기설비학회논문지
2023 .10
Interpretation of Line Edge Roughness in Extreme-Ultraviolet (EUV) Lithography using Molecular Simulations
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2019 .04
Synthesis and Lithography of Perfluoro-molecular Resists with High Tg under EUV Radiation
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2021 .04
EUV 펠리클 투과도에 따른 이미지 전사 특성 분석
반도체디스플레이기술학회지
2016 .01
진공용 3 축 x-y-Θ Stage 등가 강성 스프링 모델링 및 열분포 형체 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
Mask Materials and Designs for Extreme Ultra Violet Lithography
Electronic Materials Letters
2018 .01
다중 입출력 시스템에서 Stepped θ -QAM 성능 분석
한국통신학회 학술대회논문집
2020 .08
물중탕을 이용한 대면적 SiNx EUV 펠리클 제작
반도체디스플레이기술학회지
2016 .01
EUV pellicle의 standoff 거리에 따른 이미지 전사 특성 평가
반도체디스플레이기술학회지
2016 .01
High-Resolution VIA Pattern using Combination of DSA and EUV Lithography
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2023 .10
EUV 리소그래피의 감광제 패터닝 공정에 대한 전산모사
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .04
산의 분포 및 농도가 EUV 리소그래피 공정의 패턴에 미치는 영향: 멀티스케일 전산 모사 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2021 .08
PAL-EUV 가속기 터널 공조 환경 정밀제어
한국유체기계학회 학술대회 논문집
2023 .12
Wafer Hybrid Bonding 정밀 정렬을 위한 θz Stage 제어
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2021 .07
θ-Projection Model을 통한 석유화학플랜트 개질로ㆍ가열로 튜브의 수명평가 관리 절차 연구
한국에너지학회 학술발표회
2015 .04
Reduction of Line Edge Roughness in Nano-Patterning via Combination Directed Self-assembly (DSA) and Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2023 .04
Soft θω-Open Sets and Soft θω -Continuity
INTERNATIONAL JOURNAL of FUZZY LOGIC and INTELLIGENT SYSTEMS
2022 .03
Conjugate Heat Transfer Analysis of a Gas Turbine Blade with Full-Cooling Structure under Rotational Effect
한국유체기계학회 학술대회 논문집
2024 .12
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