Synthesis and Lithography of Perfluoro-molecular Resists with High T_g under EUV Radiation

우지훈 ,  이진균

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2021 .04

EUV 리소그래피의 감광제 패터닝 공정에 대한 전산모사

김무영 ,  문정환 ,  최준명 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

2018 .04

EUV 펠리클 투과도에 따른 이미지 전사 특성 분석

우동곤 ,  김정환 ,  김정식 외 2명

반도체디스플레이기술학회지

2016 .01

PAL-EUV 가속기 터널 공조 환경 정밀제어

이동영 ,  최영호 ,  목익수 외 3명

한국유체기계학회 학술대회 논문집

2023 .12

물중탕을 이용한 대면적 SiNx EUV 펠리클 제작

김정환 ,  홍성철 ,  조한구 외 1명

반도체디스플레이기술학회지

2016 .01

Interpretation of Line Edge Roughness in Extreme-Ultraviolet (EUV) Lithography using Molecular Simulations

박주혜 ,  이성규 ,  Yannick Veste 외 5명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2019 .04

High-Resolution VIA Pattern using Combination of DSA and EUV Lithography

윤세현 ,  안지훈 ,  이창현 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2023 .10

EUV pellicle의 standoff 거리에 따른 이미지 전사 특성 평가

우동곤 ,  홍성철 ,  김정식 외 2명

반도체디스플레이기술학회지

2016 .01

중성빔 식각기술을 통한 EUV Resist의 손상 감소에 관한 연구

장원준 ,  김희주 ,  홍종우 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2021 .12

멀티스케일 전산모사기법을 이용한 EUV 리소그래피 공정의 포토레지스트 형상 예측

조맹효 ,  김무영 ,  문정환 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2018 .12

친환경 실크 기반 극 자외선(EUV) 감광소재 개발: 다중 스케일 분석 기법

박우범 ,  나성수

대한기계학회 춘추학술대회

2024 .11

Study of interfacial roughness in EUV photoresist from a molecular approach

박주혜 ,  이성규 ,  김명웅 외 5명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2018 .04

높은 내식각성을 갖는 EUV lithography(EUVL)용 고불소화 주석산화물 레지스트의 합성 및 리소그래피 특성 평가

안형주 ,  우지훈 ,  구예진 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2022 .04

Mask Materials and Designs for Extreme Ultra Violet Lithography

김정식 ,  안진호

Electronic Materials Letters

2018 .01

Enhancing Micro-Pattern Interfaces in EUV Lithography through Molecular Dynamics Simulations of Acid Cleavable Moiety Introductions

김승태 ,  권상우 ,  이원보

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2023 .10

Reduction of LER in EUV Lithography Assisted by Block Copolymer Self-Assembly

이창현 ,  안지훈 ,  허수미

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2022 .10

Extreme UV (EUV) Resists exploiting the Unique Decomposition Behavior of Carbon-Fluorine Chemical Bonds

구예진 ,  김가영 ,  김민승 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2022 .10

Reduction of Line Edge Roughness in Nano-Patterning via Combination Directed Self-assembly (DSA) and Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography

이창현 ,  안지훈 ,  허수미

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2023 .04

EUV 마스크 검사 장비의 회전 오정렬 보상을 위한 θz 스테이지 설계

문제욱 ,  이학준

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .05

Tin oxo cluster-based Hybrid Organic-Inorganic Photoresist for EUV Lithography

Yeo Kyung Kang ,  김명길

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2022 .04