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저자정보
최봉수 (삼성전자) 진재덕 (삼성전자) 허재원 (삼성전자)
저널정보
대한설비공학회 대한설비공학회 학술발표대회논문집 대한설비공학회 2023년도 동계학술발표대회 논문집
발행연도
2023.11
수록면
112 - 115 (4page)

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The exhaust duct system including the connection ducts (“hook-up”) of the semiconductor manufacturing cleanroom are frequently changed due to frequent installation and removal of semiconductor manufacturing equipment. Therefore, if the semiconductor cleanroom is operated for a long time, there is a difference between the first designed exhaust flow rate and the present operating flow rate. So this reason, when the duct system with hook-up is changed, the usual calculation method such as the equal pressure method is not suitable for predicting the air flow rate and pressure drop changes. In order to resolve this kind of issue, this paper suggests the dynamic programming procedure to simulate the variation of the exhaust duct system in the semiconductor manufacturing cleanrrom. The dynamic programming procedure suggested in this paper is based on T-method introduced by Tsal et al. (1988). The proposed procedure is suitable for the duct infrastructural change design for the exhaust system in the semiconductor factory. Through the csae study, it was confirmed that the error range was about -15.6~+7.3%. And through the suggested procedure, it is possible to perform the case study according to the Hook-up design condition. And the exhaust supply quality can be reviewed before the hook-up construction.
#Semiconductor manufacturing cleanroom(반도체 클린룸) #Exhaust System(배기계통) #Dynamic Programming Procedure(동적계획법) #T-method

목차

Abstract
1. 서론
2. 연구방법
3. Case Study 결과
4. 결론
References

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