플라즈마 식각 공정을 위한 3차원 식각 시뮬레이터 개발 ( Development of Three-Dimensional Etching Simulator for a Plasma Etching Process )

권오섭 ,  이제희 ,  윤상호 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

플라즈마 식각 공정을 위한 3차원 식각 시뮬레이터 개발

권오섭 ,  이제희 ,  윤상호 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

플라즈마 식각공정의 신경회로망 모델링 ( Neural Network Modeling of Plasma Etching Process )

유정식 ,  고택범 ,  차상엽 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

플라즈마 식각공정의 신경회로망 모델링

유정식 ,  하대원 ,  우광방 외 2명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1994 .10

플라즈마 식각 라디칼의 신경망 모델링

김우석 ,  김병환

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .10

Downstream 誘導形 반응기의 제작 및 CF₄/O₂ 플라즈마를 이용한 a-Si:H의 식각

박상준 ,  강석진 ,  최시영

대한전자공학회 학술대회

1992 .06

플라즈마 식각방법에 의한 단결정 실리콘의 Two-Step 식각특성 ( Two-Step Etching Characteristics of Single-Si by the Plasma Etching Technique )

이진희 ,  박성호 ,  김말문 외 1명

전자공학회논문지

1987 .01

플라즈마 식각 방법에 의한 단결성 실리콘의 Two-Step 식각 특성 ( Two-Step Etching Characteristics of Single-si by the Plasma Etching Technique )

이진희 ,  박성호 ,  남기수 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

건식 식각 공정 시뮬레이션을 위한 효율적인 그림자 테스트 알고리즘과 토포그래피 진화에 대한 연구 ( Efficient Shadow-Test Algorithm for the Simulation of Dry Etching and Topographical Evolution )

권오섭 ,  반용찬 ,  원태영

전자공학회논문지-D

1999 .02

플라즈마 식각 조건이 게이트 산화막의 손상에 미치는 영향 ( Effects of Plasma Etching Parameter on Gate Oxide Damage during Plasma Etching )

김종호 ,  이석현 ,  신기수 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1994 .07

플라즈마 식각 조건이 게이트 산화막의 손상에 미치는 영향

김정호 ,  이석현 ,  신기수 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1994 .07

Genetic Control of Learning and Prediction : Application to Modeling of Plasma Etch Process Data

김병환 ,  우형수 ,  곽관웅

제어로봇시스템학회 논문지

2007 .04

ECR 플라즈마 식각 장치에서 플라즈마 물성이 식각 특성에 미치는 영향

金正浩 ,  李昈駿 ,  李晳賢 외 1명

전기학회논문지

1993 .04

PCR 장치를 위한 플라즈마 식각에 관한 연구

김진현 ,  류근걸 ,  이종권 외 2명

청정기술

2003 .09

반도체 식각 공정용 공간 평균 시뮬레이터 및 데이터베이스 개발

권득철 ,  이세아 ,  장원석 외 6명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .05

하이브리드 모델을 이용한 플라즈마 식각 공정에서의 식각종료점 검출

김승균 ,  홍상진 ,  한승수

대한전자공학회 학술대회

2011 .06

신경회로망을 이용한 플라즈마 식각공정제어에 관한 연구

차상엽 ,  고택범 ,  유정식 외 4명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1995 .10

디스크 표면 토포그래피가 자기저항 헤드의 베이스라인 안정성에 미치는 영향 ( The Effects of Disk Surface Topography on Baseline Instability of MR Head )

좌성훈

대한기계학회 논문집 A권

2000 .02

복잡한 ULSI 배선 구조 생성을 위한 토포그래피 모델링 및 시뮬레이션

권오섭 ,  윤석인 ,  김윤태 외 2명

전자공학회논문지-SD

2002 .04

고밀도 플라즈마를 이용한 절연막 식각

김유창 ,  정진기 ,  설여송 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01