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요약
1. 서론
2. 실험
3. 결과 및 고찰
4. 결론
감사의 글
참고 문헌
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플라즈마 식각 공정을 위한 3차원 식각 시뮬레이터 개발 ( Development of Three-Dimensional Etching Simulator for a Plasma Etching Process )
대한전자공학회 학술대회
1997 .11
플라즈마 식각 공정을 위한 3차원 식각 시뮬레이터 개발
대한전자공학회 학술대회
1997 .11
ECR 플라즈마 식각 장치에서 플라즈마 물성이 식각 특성에 미치는 영향
전기학회논문지
1993 .04
Downstream 誘導形 반응기의 제작 및 CF4/O2 플라즈마를 이용한 a-Si:H의 식각
대한전자공학회 학술대회
1992 .06
플라즈마 식각방법에 의한 단결정 실리콘의 Two-Step 식각특성 ( Two-Step Etching Characteristics of Single-Si by the Plasma Etching Technique )
전자공학회논문지
1987 .01
플라즈마 식각 방법에 의한 단결성 실리콘의 Two-Step 식각 특성 ( Two-Step Etching Characteristics of Single-si by the Plasma Etching Technique )
대한전자공학회 학술대회
1985 .01
플라즈마 식각 조건이 게이트 산화막의 손상에 미치는 영향 ( Effects of Plasma Etching Parameter on Gate Oxide Damage during Plasma Etching )
대한전자공학회 학술대회
1994 .07
플라즈마 식각 조건이 게이트 산화막의 손상에 미치는 영향
대한전자공학회 학술대회
1994 .07
플라즈마 식각공정의 신경회로망 모델링 ( Neural Network Modeling of Plasma Etching Process )
대한전자공학회 학술대회
1994 .01
플라즈마 식각공정의 신경회로망 모델링
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
1994 .10
하이브리드 모델을 이용한 플라즈마 식각 공정에서의 식각종료점 검출
대한전자공학회 학술대회
2011 .06
플라즈마 식각 라디칼의 신경망 모델링
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2006 .10
신경회로망을 이용한 플라즈마 식각공정제어에 관한 연구
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
1995 .10
고밀도 플라즈마를 이용한 절연막 식각
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
퍼지 적응 제어기를 이용한 플라즈마 식각장비의 제어 ( Plasma Etching System Control using Fuzzy Adaptive Controller )
대한전자공학회 학술대회
1994 .01
퍼지 적응 제어기를 이용한 플라즈마 식각장비의 제어
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
1994 .10
The Study on the Change of Surface Characteristics by Plasma Dry Etching
전자공학회지
2020 .02
플라즈마 주요 인자를 활용한 가상 계측 기반의 플라즈마 식각 공정 제어를 위한 시스템 식별
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
2016 .03
ECR 플라즈마 식각 장치에서 플라즈마 변수가 식각 특성에 미치는 영향 ( Effects of Plasma Parameters on Etch Characteristics in ECR Etcher )
대한전자공학회 학술대회
1991 .11
Remote 플라즈마에서 위치 및 반응기체에 따른 PMMA의 식각 특성 분석
화학공학
2006 .01
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