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플라즈마 식각 공정을 위한 3차원 식각 시뮬레이터 개발
대한전자공학회 학술대회
1997 .11
플라즈마 식각 공정을 위한 3차원 식각 시뮬레이터 개발 ( Development of Three-Dimensional Etching Simulator for a Plasma Etching Process )
대한전자공학회 학술대회
1997 .11
확산펌프 기반의 O 축전결합 플라즈마를 이용한 PMMA와 폴리카보네이트의 건식 식각
한국재료학회지
2009 .01
ECR 플라즈마 식각 장치에서 플라즈마 물성이 식각 특성에 미치는 영향
전기학회논문지
1993 .04
산소 플라즈마 처리된 d-PMMA 박막의 표면특성 분석
폴리머
2009 .05
펄스 플라즈마를 이용한 식각
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .11
플라즈마 식각방법에 의한 단결정 실리콘의 Two-Step 식각특성 ( Two-Step Etching Characteristics of Single-Si by the Plasma Etching Technique )
전자공학회논문지
1987 .01
플라즈마 식각 방법에 의한 단결성 실리콘의 Two-Step 식각 특성 ( Two-Step Etching Characteristics of Single-si by the Plasma Etching Technique )
대한전자공학회 학술대회
1985 .01
플라즈마 식각 라디칼의 신경망 모델링
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2006 .10
플라즈마 식각 조건이 게이트 산화막의 손상에 미치는 영향
대한전자공학회 학술대회
1994 .07
플라즈마 식각 조건이 게이트 산화막의 손상에 미치는 영향 ( Effects of Plasma Etching Parameter on Gate Oxide Damage during Plasma Etching )
대한전자공학회 학술대회
1994 .07
축전결합 $CF_4$/$O_2$/$A_r$ 플라즈마에 의한 Polymethyl methacrylate (PMMA)와 Polycarbonate건식식각 비교
한국재료학회 학술발표대회
2008 .01
고밀도 플라즈마 식각에 의한 CoTb과 CoZrNb 박막의 식각 특성
화학공학
2005 .01
The Study on the Change of Surface Characteristics by Plasma Dry Etching
전자공학회지
2020 .02
신경회로망을 이용한 플라즈마 식각공정제어에 관한 연구
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
1995 .10
유도 결합 플라즈마를 이용한 Y₂O₃ 박막의 식각 특성 연구 ( A Study on Etch Characteristics of Y₂O₃ Thin Films in Inductively Coupled Plasma )
전자공학회논문지-SD
2001 .09
하이브리드 모델을 이용한 플라즈마 식각 공정에서의 식각종료점 검출
대한전자공학회 학술대회
2011 .06
반응성 이온 식각 장비에서 산소 플라즈마를 이용한 백금의 식각에 관한 연구 ( A Study on Pt Etch by Oxygen Plasma in Reactive Ion Etcher )
대한전자공학회 학술대회
1995 .11
반응성 이온 식각 장비에서 산소 플라즈마를 이용한 백금의 식각에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1995 .12
염화제이철 수용액에 의한 스테인레스 강판의 식각에 관한 연구
화학공학
2012 .01
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